Occasion TEL / TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8 #9275822 à vendre en France

ID: 9275822
TEL/TOKYO ELECTRON PHP Four pour ACT 8 est un équipement « photorésist » qui est conçu pour l'utilisation dans la production de dispositifs semi-conducteurs et FA pour les dispositifs à panneaux LCD. Il utilise la technologie TEL-B-Tech PPS pour fournir un chauffage précis et stable afin d'obtenir des résultats optimaux pour l'électronique sensible. La couche de résistance de type oxychlorure de phosphore (POCL3) utilisée dans le processus de photolithographie des dispositifs à panneaux LCD est chauffée au four PHP pour assurer une qualité constante. Le four PHP comprend une chambre courte et une zone de chauffage, une zone d'échappement, une zone de diffusion et une chambre d'échappement. Il est conçu pour réduire efficacement la quantité d'oxygène à un niveau de 2ppm ou moins pour maintenir la stabilité de la couche de résistance POCL3. La zone de chauffage est équipée d'éléments Peltier pour maintenir la température du système dans une plage de 20- 200 ° C, quinze canaux de chaleur distincts. La zone de diffusion est également équipée d'éléments Peltier pour maintenir la température du four dans une plage de 0-200 ° C De plus, la chambre d'échappement dispose d'une unité de décontamination qui empêche le dégazage de POCL3 dans l'environnement. Le four PHP dispose également d'une lampe infrarouge PIR de grande puissance qui augmente la conduction thermique de la chambre du four au substrat, conduisant à de meilleurs résultats. Il utilise également un filtre électrostatique pour réduire les poussières fines émises de la zone d'échappement. En outre, sa machine de commande est équipée de contrôle de vide et de régulation de température. TEL PHP Four pour ACT 8 est un moyen fiable et efficace de fournir des conditions stables pour la production d'électronique sensible, en particulier pour la fabrication d'appareils à panneaux LCD. Cet outil est conçu pour fournir des résultats rapides et prévisibles avec un minimum d'erreurs et de risques.
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