Occasion VARIAN E1000 #158184 à vendre en France

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ID: 158184
Implanter chamber control rack Components: § Varian Plasma Flood and Bias Supply § Kollmorgen DC Brushless Amplifier BDS3-230/55-28-220 § Kollmorgen Power Supply PSR3-230/50-07-003 § (3) Infranor Resolver SMTBS § Varian 112729001 § Varian 113136001 § Mavilor Motors SE0718-07057 § MKS Baratron 122AA-00010DB § Brooks 5850E Mass Flow Controller 9408HC034101 Top works for the gate valves not included As is.
VARIAN E1000 est un équipement complet d'implantation et de surveillance ionique qui est utilisé pour produire des profils dopants ultra-haute pureté, précis et cohérents dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le système VARIAN E-1000 offre une flexibilité complète pour développer, sélectionner et optimiser les profils d'implantation ionique afin de soutenir les processus de fabrication de plus en plus complexes d'aujourd'hui. Il combine une technologie avancée d'alimentation et de source de ligne de faisceau avec une unité de contrôle puissante et une rétroaction de produit haute résolution. La configuration améliorée de la source et de la puissance de la ligne de faisceau E 1000 produit des performances à grande vitesse avec un courant de faisceau élevé et une uniformité des particules. Une alimentation programmable haute tension avec autocalibration assure un contrôle et une répétabilité supérieurs du processus, tandis que la technologie de cartographie de la ligne de faisceau tient compte des distributions angulaires pour assurer une précision exacte et répétable du faisceau. Des capteurs de profilage haute résolution permettent une surveillance précise des profils d'implants pour l'optimisation des processus. La machine de contrôle complète d'E1000 offre des capacités d'automatisation et de traitement de données efficaces, permettant un développement, une configuration et une optimisation des processus faciles. Utilisant un outil de contrôle en temps réel, VARIAN E 1000 effectue la modulation de faisceau, l'archivage de faisceau et d'autres fonctions de contrôle adaptatives et dynamiques pour optimiser la performance du faisceau. De plus, les capacités de multiplexage avancées d'E-1000 permettent des implants simultanés de diverses espèces avec des doses et des énergies uniformes. Le feedback produit haute résolution de VARIAN E1000 garantit une qualité de produit fiable et cohérente. Ses systèmes de rétroaction de produits haute résolution aident à identifier les problèmes de profil des implants et d'autres paramètres. De plus, le logiciel avancé de surveillance des processus de VARIAN E-1000 permet aux opérateurs de surveiller, diagnostiquer et dépanner les problèmes de processus de faisceau en temps réel, ce qui permet d'optimiser les processus et d'améliorer le temps de disponibilité. E 1000 est conçu pour une implantation ionique flexible, précise et fiable. Son ensemble de fonctionnalités robuste, son atout de contrôle intégré et son retour de produits haute résolution se combinent pour offrir un débit, une répétabilité et une qualité de produit supérieurs pour les applications les plus exigeantes.
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