Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #190620 à vendre en France

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ID: 190620
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
PVD Sputtering system, 8" Chamber Type: 4 Chamber (1 Standard Body, 3 Wide Body), Pre-Clean 1 Type Process: Al Cu, Ti, TiN Wafer size: 8" / JMF Configuration: Chamber A: Pass through Chamber B: Cool down Chamber D: Preclean I Chamber F: Orienter degas Chamber 1: ALCu (clamp) Chamber 2: TiN (101) Chamber 3: Ti (101) Chamber 4: Ti (clamp) Robot: Buffer: HP Transfer: HP Load Lock: Narrow body with tilts in/out No sliding sensor kit Chamber A: Type: pass through Lid: metal Cooling method: N/A Chamber B: Type: cool down Lid: metal Cooling method: by PCW / by gas Chamber D: Type: Preclean I Process: oxide etch RF Gen/DC power supply 1: CPS-1001 RF Gen/DC power supply 2: N/A Leybold 361C: Turbo/Cryo pump Type Chamber 1: Type: standard body Process: Al Cu, 0010-20225 RF Gen/DC power supply 1: AE MDX-L12M (Master) RF Gen/DC power supply 2: AE MDX-L12 (Slave) RF Gen/DC power supply 3: N/A Turbo/Cryo pump Type: Cryo Pump, 3 phase Gate valve type: 2-position Pedestal type: Clamp (4F) Process Gas: Ar STEC 100 N2 100sccm Ar-HTR STEC 100 N2 100sccm Chamber 2: Type: wide body Process: TiN, 0010-20223 B+ RF Gen/DC power supply 1: AE MDX-L12 RF Gen/DC power supply 2: N/A RF Gen/DC power supply 3: N/A Turbo/Cryo pump Type: Cryo Pump, 3 phase Gate valve: 3-position Pedestal type: 101 Process Gas: N2 STEC 200 N2 200sccm Ar STEC 100 N2 100sccm Chamber 3: Type: wide body Process: Ti, 0010-20223 B+ RF Gen/DC power supply 1: AE MDX-L12 RF Gen/DC power supply 2: N/A RF Gen/DC power supply 3: N/A Turbo/Cryo pump Type: Cryo Pump, 3 phase Gate valve: 3-position Pedestal type: 101 Process Gas: N2 STEC 200 N2 200sccm Ar STEC 100 N2 100sccm Chamber 4: Type: wide body Process: Ti, 0010-20223 B+ RF Gen/DC power supply 1: AE MDX-L12 RF Gen/DC power supply 2: N/A RF Gen/DC power supply 3: N/A Turbo/Cryo pump Type: Cryo Pump, 3 phase Gate valve type: 3-position Pedestal type: clamp (4F) Process gas: N2 STEC 200 N2 200sccm Ar STEC 100 N2 100sccm Ar-HTR STEC 100 N2 100sccm Heat exchanger: Neslab Type II Compressor type: CTI 8500, CTI 9600 SBC type in controller: V21 Ion gauge type: nude Main AC box: 220VAC, 3 Phase, 60Hz System Monitor: 1st Monitor: stand alone 2nd Monitor: through the wall 3rd Monitor: - Installed 1995 vintage.
AKT AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 Reactor est un équipement de traitement thermique avancé conçu pour un frittage efficace des condensateurs céramiques. Le système dispose d'une capacité de contrôle thermique optimisée qui assure un chauffage uniforme et répétable des matériaux céramiques et fournit un meilleur contrôle de la température sur une large gamme de processus. AKT Endura 5500 fournit également des débits élevés avec des dispositifs complets de prévention de la contamination pour un processus de frittage fiable et répétable. AMAT ENDURA 5500 dispose d'un environnement de gaz réactif à basse pression pour un frittage optimal. Un contrôle de modulation indépendant permet une flexibilité maximale pour les paramètres de processus individuels. Les chambres de procédés multi-zones à basse pression sont bien isolées thermiquement et peuvent être utilisées pour chauffer et refroidir rapidement les pièces. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA 5500 permet également de modifier les temps de cycle pour répondre à des exigences spécifiques. L'unité est équipée de fonctions avancées de surveillance et de contrôle des processus qui peuvent être utilisées pour optimiser les performances de la machine. Ces caractéristiques comprennent le contrôle actif de la zone, l'uniformité de température, la récupération des défauts, la protection contre les températures excessives, la protection contre les fuites thermiques, la surveillance de la pression, la fin du cycle et la surveillance du profil. Cela aide les utilisateurs à maximiser la précision du cycle de frittage pour une meilleure qualité et des résultats répétables. Endura 5500 dispose également de capacités automatiques de cartographie et de suivi des plaquettes pour une traçabilité complète tout au long du processus de frittage. Pour répondre aux exigences de fiabilité les plus élevées, l'outil est conçu pour soutenir la propreté des procédés pour la prévention de la contamination et est conforme aux normes de l'industrie. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 est un réacteur avancé et fiable spécialement conçu pour le frittage des condensateurs céramiques. L'actif offre un contrôle de processus amélioré avec contrôle actif de zone, uniformité de température, récupération des défauts, protection contre les températures excessives et surveillance de la pression pour de meilleurs résultats reproductibles. Il dispose également d'un système automatisé de cartographie et de suivi des plaquettes pour la traçabilité. Le modèle est conçu pour prévenir la contamination et est conforme aux normes de l'industrie, ce qui en fait un choix idéal pour le frittage des condensateurs céramiques.
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