Occasion BALZERS LLS EVO #9015975 à vendre en France

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BALZERS LLS EVO
Vendu
ID: 9015975
Sputtering system Substrate: 4" (36 pcs) 6", (12 pcs) holder HV pump: CTI 8F OnBoard (LC / MC) Rough pump: TRIVAC D 65B (LC / MC) Polycold type: PFC 400 LT HV valve: VAT 014 2-POINT (LC), VAT 064 3-POINT (MC) Vent valve: VAP 025 / VAP040, Soft vent MFC 5 slm [N2] Heater: Heater shutter (LC) Etching in LC: RF sputter etch Electrical: 3 x 400 VAC, 60 Hz Power supplies: # 1, 2: DC 6 kW # 3: RF 2.5 kW Cathodes: Power supply #1: 1, 3 Power supply #2: 4, 5 Power supply #3: etch, 2 Target material: Ta: 1 SiO2: 2 Ta: 3 AlCu: 4 NiCr: 5 Manual handling Accessories: Second set of shields Second set of substrate tooling.
BALZERS LLS EVO est un équipement de pulvérisation conçu pour la recherche appliquée en couches minces avancées. Ce système offre des solutions de procédé innovantes telles que le dépôt, la gravure et la gravure de couches minces. Il est adapté à une variété de matériaux et d'applications, y compris les semi-conducteurs, les métaux et les isolants. LLS EVO est une machine polyvalente qui dispose d'un logiciel de pointe qui offre aux utilisateurs une large gamme de processus de pulvérisation et de gravure. Il est facile à utiliser et personnalisable pour répondre à une variété de processus de pulvérisation. L'unité a une grande capacité de chambre, ce qui permet à l'utilisateur de réaliser des films extrêmement uniformes sur de grandes surfaces. Le principe de la machine à pulvériser BALZERS LLS EVO est d'utiliser un procédé en phase gazeuse afin de fournir une meilleure surface et un traitement à basse température. Ce procédé est réalisé en introduisant dans l'enceinte des gaz inertes tels que l'argon, le krypton, l'azote et le xénon. Ces gaz sont accélérés à environ 700 m/s dans la chambre et entrent en collision avec la cible de pulvérisation. On charge ainsi la cible et on ionise les gaz inertes, ce qui provoque un plasma électrique à partir duquel on déclenche la pulvérisation et on dépose des films sur le substrat. L'outil de pulvérisation LLS EVO peut fournir des films avec une très haute qualité et une grande uniformité. Il permet également le dépôt de films à des cadences différentes, selon le matériau cible et le type de revêtement appliqué. L'actif est conçu de telle sorte que le taux de dépôt puisse varier pour répondre aux exigences d'applications spécifiques. BALZERS LLS EVO offre également aux utilisateurs la possibilité de fabriquer des films minces avec une grande précision. Par exemple, le procédé de dépôt en couche atomique (ALD) permet un taux de dépôt élevé et des couches minces extrêmement uniformes avec une excellente qualité de film. De plus, la microscopie optique et tunnel associée au modèle permet un suivi précis et précis des structures de surface et d'interface. En résumé, l'équipement de pulvérisation LLS EVO est un outil puissant pour la recherche et le développement de couches minces. Il est conçu pour offrir aux utilisateurs une large gamme de procédés de pulvérisation et de gravure polyvalents et assure des films minces uniformes et de haute qualité. Le système dispose également de logiciels avancés et permet à l'utilisateur de fabriquer des films minces avec une grande précision.
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