Occasion CANON / ANELVA 1060 #9135855 à vendre en France

CANON/ANELVA 1060 matériel de pulvérisation est un système de haute performance conçu pour créer des couches minces épaisses et uniformes sur des échantillons pour le traitement des semi-conducteurs. Cette unité utilise la pulvérisation, un procédé physique de dépôt en phase vapeur, pour déposer des couches minces de matière sur la surface d'une pièce. Les cathodes utilisées dans CANON 1060 produisent des rejets gazeux qui bombardent la surface de l'échantillon avec de l'énergie thermique, pulvérisent une surface et créent la couche mince désirée. ANELVA 1060 est un seul outil de pulvérisation magnétron, alimenté par une alimentation continue de 4 kW. Il dispose de deux enceintes en céramique qui abritent la chambre de procédé et la chambre de support, et d'une capacité de chargement supérieure pour un accès facile aux échantillons. La chambre de traitement est capable de fonctionner à des températures allant jusqu'à 400C et peut atteindre des pressions jusqu'à 1 Pa. La tension maximale est de 3500 V et la gamme de fréquence est de 5-250 kHz. La machine comprend également une alimentation RF cible variable avec une gamme de 100-1000 watts et une alimentation 6 étages. 1060 a une variété de caractéristiques qui en font un outil polyvalent et fiable. Il comprend un moteur automatique de rotation de cible et peut être facilement configuré pour actionner plusieurs aimants pour pulvériser plusieurs cibles. L'outil est équipé d'une boîte à gaz intégrée pour fournir des atmosphères contrôlées nécessaires aux processus PVD, ainsi que d'un outil de surveillance des particules pour détecter et suivre les particules de sous-microns qui contaminent la chambre de dépôt, d'un mandrin électrostatique (ESC) pour retenir les échantillons pendant le traitement, et d'un dispositif de mesure/contrôle pour mesurer et enregistrer les paramètres comme la température et la pression. CANON/ANELVA 1060 dispose également de plusieurs dispositifs de sécurité, tels qu'un interrupteur d'arrêt automatique pour l'alimentation en courant continu, un bouton d'arrêt d'urgence, un circuit de coupure de sécurité du capteur de courant et une vanne d'arrêt de gaz d'urgence intégrée. Ces mesures de sécurité aident à protéger les utilisateurs contre les dommages potentiels et à assurer le bon fonctionnement du modèle. Dans l'ensemble, CANON 1060 est un équipement puissant et fiable de pulvérisation, fournissant un moyen polyvalent et efficace de créer des couches minces de matériau sur des substrats pour le traitement des semi-conducteurs. Il a de nombreuses caractéristiques qui permettent un dépôt et une performance précis en couches minces, et les mesures de sécurité intégrées le rendent sûr et facile à utiliser.