Occasion CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #9018208 à vendre en France

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CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1
Vendu
ID: 9018208
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Sputtering system, 8" 1997 vintage.
CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1 est un équipement de pulvérisation conçu pour la production de surfaces hautes performances et de films minces. Il est composé d'une source d'ions de haute énergie pouvant émettre jusqu'à 10kV d'ions argon ou xénon, d'une cible de production rotative très précise, d'un support rotatif pour la cible de production, d'un module de distribution de gaz, d'une cathode, d'une anode et d'un système de commande moderne. La source d'ions de l'unité a été optimisée pour maximiser l'émission d'ions vers les atomes. Il est capable de produire des faisceaux d'ions avec une densité optimale de 10 ^ 14 cm-2s-1 et une énergie de faisceau jusqu'à 10kV. La cible de production rotative très précise assure le dépôt uniforme du matériau en cours de dépôt sur le matériau de base. La température et l'atmosphère à l'intérieur de la chambre peuvent être réglées et contrôlées avec précision pour différents traitements de surface, tels que gravure, dépôt, nettoyage et prétraitement de substrat. La machine est également équipée d'un module de distribution de gaz, responsable de l'homogénéité ultime des gaz de procédé. Divers gaz tels que l'hydrogène, l'azote, l'oxygène, l'argon, le chlore et le xénon peuvent être utilisés pour différents procédés, selon l'application et le matériau de base. La distribution des conduites de gaz est contrôlée électroniquement et permet une uniformité de distribution des gaz sur l'ensemble du produit. L'outil comprend également un actif contrôleur moderne qui est connecté à divers dispositifs externes. L'interface conviviale offre une surveillance des données en temps réel ainsi qu'un large éventail d'outils pour aider les utilisateurs à atteindre les paramètres souhaités rapidement et facilement. Le modèle de contrôleur permet également aux utilisateurs de programmer différentes recettes pour différents processus. CANON I-1060SVII PLUS-1 est idéal pour pulvériser des couches de couches minces sur des substrats par divers procédés tels que le dépôt de haute précision, la couche dure, la pulvérisation, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le dépôt physique en phase vapeur (PVD). Il est conçu pour minimiser les résidus et optimiser le processus de revêtement. En offrant une combinaison idéale de précision, de contrôle, d'uniformité et de précision, l'équipement peut être utilisé pour produire des produits de haute qualité dans divers domaines.
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