Occasion CANON / ANELVA ILC 1012 #9103093 à vendre en France

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CANON / ANELVA ILC 1012
Vendu
ID: 9103093
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering systems, 6".
CANON/ANELVA ILC 1012 est un équipement de pulvérisation à haute performance et multifonctions idéal pour la fabrication de semi-conducteurs et de dispositifs à couches minces. Il se compose d'un système de pulvérisation sans balais de haute puissance avec une capacité RF couplée à une tête de douche au xénon-ion à haute puissance, placée en diode et pilotée par ordinateur. L'unité a été conçue pour offrir des revêtements améliorés, des taux de dépôt de films plus élevés et une uniformité entre les substrats de différentes tailles et formes. CANON ILC 1012 fournit un environnement de vide sans anode avec un champ électrique uniforme allant jusqu'à 470V. Ceci assure la meilleure qualité de dépôt de film, même sur des substrats non conducteurs. La machine intègre également une chambre sans bulle pour minimiser la contamination, assurant l'uniformité du produit. Pour améliorer encore l'homogénéité du film, une caractéristique intégrée permet l'intégration d'un obturateur de conception inversée avec un masque de cible de chambre pour optimiser la vitesse de dépôt de la surface substrat-cible. L'outil peut combiner jusqu'à 8 cibles incluant l'aluminium, le chrome et le tantale à la fois, ce qui le rend très polyvalent pour des applications multi-niveaux. L'actif offre également une puissance réglable allant de 10 à 550 watts pour chaque cible, ce qui le rend idéal pour différents types de processus de dépôt. De plus, le modèle a un modèle de processus automatisé qui peut reconnaître et éliminer les écarts, permettant un contrôle supérieur de l'épaisseur et de l'uniformité du film. ANELVA ILC 1012 comprend également un logiciel de contrôle pour l'acquisition facile de données et le contrôle de processus ainsi qu'une fonction d'auto-ajustement d'intelligence peut contrôler dynamiquement le processus de pulvérisation pour maintenir une épaisseur constante de film déposé. En outre, l'équipement dispose d'une interface conviviale et est équipé d'un générateur RF refroidi par eau, ainsi que des équipements de sécurité et des joints d'étanchéité nécessaires. Dans l'ensemble, ILC 1012 système de pulvérisation par pulvérisation fournit un revêtement de haute qualité avec des coûts réduits et un contrôle amélioré des processus, ce qui en fait un excellent choix pour les applications dans les industries des semi-conducteurs et des dispositifs à couches minces.
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