Occasion CANON / ANELVA ILC 1013MK2 #9119670 à vendre en France

CANON/ANELVA ILC 1013MK2 est un équipement de pulvérisation à courant continu de taille moyenne parfaitement adapté aux applications de dépôt en couches minces. Il s'agit d'un outil intégré et hautement automatisé de dépôt de pulvérisateurs avec une conception modulaire pour un entretien facile. Le système est équipé d'un pistolet à pulvérisation magnétron à courant continu de grande puissance et est capable de déposer des films minces sur des surfaces planes, courbes ou à motifs. L'unité est conçue pour une maintenance et un fonctionnement simplifiés, permettant des résultats cohérents et reproductibles. CANON ILC 1013MK2 offre un ensemble complet de fonctionnalités, comprenant une unité de commande séparée, une commande automatique de processus, une chambre à huit baies et deux chambres de travail. La chambre principale offre trois cathodes de pulvérisation pour la pulvérisation simultanée de différents matériaux, permettant aux utilisateurs d'obtenir des paramètres de pulvérisation optimaux pour leur substrat et leurs films spécifiques. Le champ circulaire de manipulation du pistolet pulvérisateur est réglable pour assurer une homogénéité maximale de dépôt. La surface de matériau magnétique sur laquelle passe le pistolet est de 360 °, ce qui permet à l'utilisateur de contrôler pleinement la surface. L'unité de contrôle offre une interface utilisateur graphique (UI) facile à utiliser pour contrôler le processus de dépôt des pulvérisateurs. Il est équipé d'un positionneur Raster Multi-Canal avec contrôle de profil de mouvement personnalisé et lecture de position de haute précision. Ceci garantit des performances optimales en termes d'homogénéité, d'homogénéité et de répétabilité des résultats. Les paramètres de dépôt tels que la puissance de pulvérisation, la température du substrat, la pression de la chambre et la durée du processus peuvent être correctement programmés et contrôlés par l'unité de contrôle. ANELVA ILC 1013MK2 est également équipé de multiples fonctions pour le contrôle de l'intégrité du processus, telles que la surveillance de la surpression et de l'oxygène, le nettoyage avant gaz et un compteur de particules pour la surveillance de la masse du film. Ses deux chambres de travail offrent une flexibilité supplémentaire pour le dépôt de substrat et de film, ce qui permet de procéder en une seule étape ou en empilage. Cette machine de dépôt de pulvérisateurs est un choix optimal pour la recherche en couches minces, le développement et les applications de contrôle de la qualité.