Occasion CANON / ANELVA ILC 1051 #9043718 à vendre en France

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CANON / ANELVA ILC 1051
Vendu
ID: 9043718
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering system, 6".
CANON/ANELVA ILC 1051 est un équipement de pulvérisation à haute performance conçu pour fournir un contrôle précis des paramètres du processus, permettant à l'utilisateur d'avoir un contrôle complet sur les taux de dépôt. La pulvérisation est le procédé consistant à utiliser une source de plasma pour transférer des atomes sur un substrat, ce qui conduit à une couche mince de film déposée à la surface du substrat. Le système CANON ILC 1051 dispose d'un ordinateur de bord principal pour une configuration et une maintenance faciles, une alimentation en courant continu contrôlable à haute tension et une pompe turbomoléculaire à fréquence contrôlée. De plus, l'unité comprend un régulateur de débit de gaz indépendant, une jauge de vide, un étage rotatif, une chambre à vide étanche et un porte-échantillon télécommandé. Avec l'étage rotatif, un opérateur peut utiliser un procédé de pulvérisation pour jusqu'à quatre substrats, et peut ajuster indépendamment l'angle pour chaque procédé. La machine dispose d'une puissante alimentation RF qui contrôle les paramètres de dépôt par pulvérisation avec jusqu'à 64 étapes programmables, permettant à l'utilisateur de spécifier le processus de pré-pulvérisation, le temps de dépôt et le temps de post-pulvérisation. De plus, l'alimentation en courant continu permet des débits de pulvérisation précis et reproductibles qui permettent à l'utilisateur de contrôler avec précision les paramètres de dépôt. ANELVA ILC-1051 dispose d'un outil intégré de surveillance de l'entreprise avec son propre logiciel pour surveiller les processus de pulvérisation, assurer le fonctionnement efficace de l'actif de pulvérisation ainsi que le suivi et l'archivage des recettes de dépôt. ILC 1051 offre un débit important pour son utilisateur, assurant un processus plus rapide par i) maintien d'une distribution uniforme des films déposés, ii) minimisation du temps de recoinage et iii) affinage des cycles de processus. De plus, ANELVA ILC 1051 est équipé d'un modèle automatique d'alignement des plaquettes, améliorant la précision et la précision, ainsi que la réduction de la charge de travail pour l'opérateur. Dans l'ensemble, l'équipement de pulvérisation de CANON ILC-1051 assure une pulvérisation précise, contrôlée et reproductible, permettant à un opérateur de fabriquer avec précision des échantillons avec des couches minces de métaux, de diélectriques et d'autres matériaux.
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