Occasion CANON / ANELVA ILC 1051 #9272190 à vendre en France

CANON/ANELVA ILC 1051 est un équipement de pulvérisation conçu pour le dépôt de films ultra-minces sur un substrat. En pulvérisation, une cible est placée à l'intérieur d'une chambre à vide et bombardée d'ions, ce qui provoque la libération et le dépôt d'atomes à la surface de la cible sur le substrat. CANON ILC 1051 utilise une source de plasma à couplage inductif magnétron (MICP) pour produire un plasma d'argon ou d'hélium à gaz rare dans sa chambre. Le champ magnétique généré par la source de plasma augmente la densité directionnelle du faisceau d'ions, ce qui permet d'améliorer la couverture et l'uniformité du dépôt du film. ANELVA ILC-1051 offre diverses fonctionnalités pour optimiser les dépôts. Il dispose d'une fenêtre d'observation du vide, qui permet à des fins de diagnostic et peut être utilisé pour assurer un positionnement et un masquage appropriés du substrat. La pression de base du système est d'environ 1x10-4 Pa et le dépôt peut atteindre 1x10-3 Pa avec une tension de polarisation du substrat jusqu'à -2,500V. La température peut être contrôlée de la température ambiante à 300 degrés Celsius. L'unité dispose d'emboîtements intégrés pour assurer la sécurité et la capacité de surveiller les moteurs dans la machine qui déplacent le pistolet pulvérisateur et le substrat. L'outil est livré avec un convoyeur cathodique qui permet de contrôler le gaz et/ou la dose. Une option de générateur RF est disponible pour fournir des densités d'ions plus élevées et permettre le fonctionnement à des taux de dépôt plus élevés. Une turbomachine de grande capacité et un manomètre maxigauge fournissent la sauvegarde nécessaire pour maintenir et surveiller la chambre à vide. En outre, le port de fenêtre peut être utilisé pour installer un équipement de mesure optique in situ afin de surveiller la croissance du film pendant le dépôt. Les films pulvérisés déposés à l'aide de CANON/ANELVA ILC-1051 ont une bonne couverture, une surface uniforme et une excellente rugosité de surface. Les films ont tendance à avoir une bonne adhérence et une bonne planéité. L'actif est très fiable et répétable et peut être utilisé pour le dépôt de films multicouches et pour diverses applications, y compris l'électronique, le MEMS et l'optoélectronique. Le modèle est également livré avec un certain nombre d'options logicielles qui fournissent un accès à distance à l'équipement et d'autres fonctionnalités utiles.