Occasion CANON / ANELVA ILC 1060 #9287391 à vendre en France

CANON/ANELVA ILC 1060 est un équipement industriel de pulvérisation pour la gravure et le revêtement des surfaces de divers matériaux. L'équipement supporte la gravure ionique réactive (RIE) et la pulvérisation magnétron, et fonctionne en mode manuel et automatisé. Le système autonome comprend un contrôleur, une chambre de gravure, une chambre cible et une source de plasma à distance indépendante. Le contrôleur permet un contrôle et une surveillance précis de divers paramètres, y compris la pression, les débits, la température, le courant, la tension et la puissance cible. La chambre de gravure a un volume intérieur maximal de 290 litres et contient une unité d'espace confiné turbo-pompée (TCSU). Il est équipé d'une pompe à défilement mécanique à deux étages, d'une unité de pompage turbomoléculaire et d'une source de faisceau d'ions. La machine de pompage turbo-moléculaire est utilisée pour évacuer la chambre et créer l'état de vide désiré. La source de faisceau d'ions est utilisée pour produire le plasma de gravure désiré. La chambre cible supporte un pulvérisateur simple ou multicouche, avec une surface cible pouvant atteindre 200 mm. La chambre est équipée d'une pompe à membrane et d'un support de cible facile à nettoyer, ainsi que d'une technologie de filtrage plasma réglable pour contrôler l'énergie ionique et la direction. La chambre dispose également d'une commande de gaz embarquée avec cinq entrées de gaz séparées et une commande automatisée de la vanne. La source de plasma à distance indépendante de l'outil permet une gravure bipolaire, et peut être configurée selon une configuration excitée par micro-ondes ou par courant continu. Il est équipé d'une boîte de jonction et de moyens de manutention du gaz, permettant un contrôle précis et reproductible des processus. CANON ILC 1060 a une cote de 75 kW, et prend en charge plusieurs configurations, y compris planaire, fente et champ transversal. Il est adapté pour des applications sur les marchés de la recherche, des semi-conducteurs et de la production à haut volume. Le modèle possède des caractéristiques de sécurité intégrées, des emboîtements et peut être intégré à d'autres systèmes CANON ou ANELVA.