Occasion CANON / ANELVA ILC 1060SV #181556 à vendre en France

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CANON / ANELVA ILC 1060SV
Vendu
ID: 181556
Taille de la plaquette: 8"
Sputtering system, 8".
CANON/ANELVA ILC 1060SV est un équipement multifonctionnel conçu pour diverses applications industrielles et de recherche. La pulvérisation est une forme de dépôt physique en phase vapeur qui implique une chambre à vide et un gaz ionisé. Dans ce système de pulvérisation, les particules du matériau cible sont accélérées par un champ électrique et bombardent un substrat, entraînant le transfert de matière sur la surface du substrat. L'unité CANON ILC 1060SV présente plusieurs caractéristiques qui la rendent particulièrement adaptée à la production de films uniformes de matériaux électriquement conducteurs et diélectriques. La machine se compose d'une chambre à vide, de deux serrures et d'un outil de pompage. La chambre est équipée d'une alimentation électrique de 10 kW, d'une cible de puissance élevée et d'un moniteur de rétroaction numérique. Le modèle cible est constitué d'une source fixe et d'une source tournante pour permettre une large couverture de tous les angles du substrat. La source de forte puissance est capable de produire des sorties de forte puissance qui se traduit par des taux de dépôt plus élevés pour certaines applications. L'équipement de pompage utilise une paire d'étages de pompage turbomoléculaire et une pompe cryogénique pour obtenir un vide de 10-5 Torr. Ceci permet de pulvériser sur un large éventail de substrats allant des polymères aux métaux. Les verrous à double charge créent un système de serrure et permettent un chargement et un changement rapides des substrats. ANELVA ILC 1060 SV est conçu pour la formation de couches précises et est équipé de paramètres de contrôle avancés pour permettre des couches répétables aussi minces que 10nm à atteindre. Pour ce faire, il est possible de contrôler la distance substrat-cible, à la fois la source et la puissance cible, la pression du gaz de traitement et la tension et le courant de polarisation. La particularité de la machine est qu'elle a une interface de processus rapide qui permet une transition facile entre les paramètres entre les processus. L'interface de processus rapide et la formation précise des couches font l'outil idéal pour créer des films uniformes et des couches complexes. ILC 1060 SV est un actif de pulvérisation versatile qui convient à une variété d'applications. Avec ses paramètres de contrôle avancés, sa formation de couches précise et ses fonctionnalités avancées, il convient parfaitement aux applications nécessitant des films uniformes et des couches complexes. Le modèle peut être utilisé pour réaliser des films en matériaux électriquement conducteurs et non conducteurs, et il est conçu pour atteindre des taux de dépôt élevés en raison de ses capacités de puissance élevées. L'équipement de sas et l'interface de processus rapide permettent des changements rapides entre les substrats et les processus, ce qui le rend adapté aux applications à haut débit. Dans l'ensemble, ce système est un excellent outil pour une variété d'applications industrielles et de recherche.
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