Occasion CANON / ANELVA SBH 2306DE #155740 à vendre en France

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ID: 155740
Taille de la plaquette: 4"
Style Vintage: 1993
Sputtering system, 4", 1993 vintage.
CANON/ANELVA SBH 2306DE est un équipement de pulvérisation conçu pour la fabrication de films ultra-minces, ce qui en fait un outil idéal pour la recherche et le développement. Ce système est équipé de trois cathodes magnétron avec jusqu'à trois cibles qui peuvent être pulvérisées simultanément. Il utilise une méthode unique de pulvérisation RF pour former des films minces de haute qualité avec un faible taux de particules. La disposition de l'anode et de la cathode permet des vitesses de dépôt plus élevées et une durée de vie plus longue des sources de pulvérisation. Cette unité dispose d'un étage de substrat contrôlé en température pour permettre un dépôt de haute qualité dans une large gamme de températures. CANON SBH 2306DE peut être utilisé pour de nombreux procédés de dépôt, comme la fabrication de divers types d'afficheurs. Il est capable de produire du silicium amorphe et d'autres couches minces pour des applications semi-conductrices optoélectroniques, telles que des cellules solaires et des écrans OLED. La machine est également adaptée à la réalisation de filtres interférentiels optiques multicouches, de films conducteurs et isolants, et d'autres dessins avancés de couches minces. L'outil est conçu avec une chambre à pression variable et un support de substrat à température contrôlée, qui sont tous deux maintenus dans une chambre à vide pour minimiser les particules contaminantes pendant le processus de dépôt. De plus, l'actif fournit une dépression réglable dans la chambre de réaction, permettant le dépôt de couches minces de haute qualité. De plus, ANELVA SBH 2306DE utilise la puissance impulsionnelle automatique à haute fréquence pour maintenir la densité et la puissance plasmatiques échangeables. Son modèle de contrôle de pression différentiel assure un temps d'arrêt minimal de l'équipement, car il élimine la nécessité d'un entretien manuel périodique. Le système est équipé d'un moniteur de processus intégré et de capacités d'enregistrement de données en temps réel pour surveiller les paramètres du processus de dépôt, afficher le panneau de contrôle intégré et enregistrer divers paramètres aux fins du diagnostic. Le contrôleur logique programmable avancé (PLC) favorise le fonctionnement convivial de l'unité et maximise la précision et la reproductibilité de la machine à pulvériser. En conclusion, SBH 2306DE est un outil de pulvérisation idéal pour la recherche, le développement et la production de films minces. Il offre une excellente qualité et précision de film mince avec des capacités avancées de contrôle et d'enregistrement des données, contribuant à assurer la réussite de la fabrication de film. Cet actif est équipé d'une chambre de pression réglable, d'un support de substrat à température variable et d'un régulateur de puissance impulsionnelle, qui contribuent tous à une pulvérisation efficace, cohérente et fiable.
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