Occasion CANON / ANELVA SPF-730H #9219102 à vendre en France

CANON/ANELVA SPF-730H est un équipement de pulvérisation conçu pour le dépôt en couches minces de matériaux, généralement appliqué dans les domaines de la recherche et du développement liés aux semi-conducteurs, aux couches minces et aux nanotechnologies. C'est un système de dépôt physique en phase vapeur (PVD) à trois sources qui peut déposer des couches minces métalliques, semi-conductrices et diélectriques sur des substrats. CANON SPF-730H est composé de trois co-magnétrons rotatifs indépendants qui permettent le dépôt de matériaux provenant de trois sources, et dispose d'un codeur rotatif fixé au rotateur pour aider à optimiser l'unité. Cette configuration permet une meilleure utilisation des cibles et donc une augmentation de la productivité tout en réduisant les coûts de réorientation et de maintenance. En outre, la machine dispose d'un moniteur d'émission de champ pour s'assurer que l'épaisseur et la composition du film restent cohérentes pendant le dépôt. ANELVA SPF-730H a un design double chambre, avec une chambre principale et une chambre auxiliaire pour de multiples applications. La chambre principale est scellée sous vide et comprend deux supports de substrat de 20cm de diamètre qui supportent des substrats jusqu'à 200mm de diamètre et une culasse tournante pour la pulvérisation angulaire. Il est également équipé d'une alimentation en azote, permettant une pulvérisation thermique réactive dans une atmosphère pouvant atteindre 0,5 Pa. La chambre auxiliaire est équipée d'une tête de douche et d'un microcontrôleur pour contrôler les paramètres de l'outil. SPF-730H dispose d'un outil de verrouillage de charge qui assure une qualité de vide élevée, ainsi que d'un obturateur automatique qui empêche l'exposition des substrats au vide pendant une longue période, éliminant ainsi la nécessité d'une manutention manuelle. Il dispose également d'un contrôle automatique de la température de fonctionnement qui assure la stabilité en température des substrats pendant le processus de dépôt. En outre, le modèle est équipé d'un ordinateur qui contrôle l'ensemble du processus, du positionnement des substrats à la surveillance de la pression partielle d'oxygène, permettant des recettes précises et reproductibles. En conclusion, CANON/ANELVA SPF-730H est un équipement fiable et cohérent de pulvérisation qui peut être utilisé pour le dépôt de matériaux à couches minces pour des applications en recherche et développement. Son système PVD à trois sources et son bloc de verrouillage assurent une grande homogénéité et répétabilité des films produits, tandis que ses capteurs intégrés permettent d'optimiser les cadences de production.