Occasion CVC SC 4000 #9106193 à vendre en France

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ID: 9106193
Taille de la plaquette: 8"
Sputtering system, 8" Diameter water cooled stainless steel chamber with several 2.75", 21" Conflat flanges for feed throughs, 6" Cryo pump (2) View ports Single target in the base plate, 8" (3) Sputter sources, 2" CTI-8 Cryopump base pressure: 5 x 10-8 MKS Capacitance manometer (4) Channel mass flow controllers (3) Gases: Ar, O2, N2 RF Generator: OEM 1250, 1250 Watt unit.
CVC SC 4000 est un puissant outil de dépôt sous vide conçu pour les applications de revêtement à grande surface. Le système dispose d'une conception avancée à trois chambres qui permet des processus de dépôt à haut débit et un revêtement uniforme sur un grand substrat. Il utilise une cathode de pulvérisation magnétron propriétaire pour fournir des vitesses de revêtement uniformes et un contrôle précis de l'épaisseur de la couche pour des finitions de surface de haute qualité. SC 4000 est conçu pour fournir un processus de dépôt stable sur une large gamme de températures, de pressions et de dimensions. Les deux chambres constitutives du CVC SC 4000 sont conçues pour un taux de dépôt élevé. La chambre principale est équipée d'un étage quad-colonne avec un robot charge/déchargement pour faciliter la commutation des substrats. Cette chambre est capable de recevoir jusqu'à quatre tailles de plaquettes de substrat, jusqu'à 203mm de diamètre. Dans la chambre principale, les substrats sont maintenus en place par le robot puis sont transportés vers la zone de traitement où un dépôt uniforme de couches minces peut avoir lieu. La chambre secondaire « propre » est conçue pour assurer une qualité optimale des films déposés. Il comprend un dispositif de neutralisation statique des charges, des systèmes réactifs de distribution de gaz et un environnement contrôlé pour une croissance stable des films. Cette chambre dispose également d'un bocal amovible pour un accès facile aux substrats à l'intérieur de l'unité. La machine à pulvériser SC 4000 offre également une gamme de revêtements pour des applications spécifiques. Il peut produire des revêtements d'oxyde, de nitrure, de carbone et de métal avec une grande variété de techniques. Il s'agit notamment des procédés classiques de pulvérisation par pulvérisation ainsi que des dépôts chimiques en phase vapeur améliorés par plasma, ou PECVD. L'outil de pulvérisation CVC SC 4000 est idéal pour les applications de revêtement de haute qualité. Grâce à sa conception avancée à trois chambres et à sa gamme complète de techniques disponibles, SC 4000 peut fournir des procédés de dépôt efficaces pour les substrats de grande surface, ce qui donne des produits finis uniformes et de haute qualité.
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