Occasion EMITECH / EMCORE K575X #9250890 à vendre en France

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ID: 9250890
Sputter coater Does not include pump.
EMITECH/EMCORE K575X L'équipement de pulvérisation est un outil polyvalent de production de masse multi-cibles avec une technologie unique de dépôt par pulvérisation. Il est conçu pour des applications de dépôt telles que les couches barrière/adhérence et les couches métalliques dans l'industrie des semi-conducteurs. Sa conception offre flexibilité et productivité élevée avec un contrôle de processus supérieur, un entretien minimal et un dépôt de haute pureté. Le système utilise le procédé breveté EMCORE de dépôt par pulvérisation magnétron qui crée un dépôt contrôlé et uniforme sur plusieurs substrats. Cette technologie offre un taux de dépôt pair, une directionnalité et un rayonnement électronique plus faible, ce qui permet une meilleure uniformité. De plus, l'utilisation de magnétrons réduit le coût du matériau, puisque les cibles de pulvérisation restent fixes et n'ont jamais à être remplacées. L'unité EMCORE K575X est construite avec une cathode de pulvérisation directe à cinq cibles, chacune pouvant être chargée avec jusqu'à quatre cibles de pulvérisation. Cette machine d'entraînement direct permet des taux de dépôt élevés tout en assurant une couverture uniforme. Il offre également un large éventail de temps de traitement et de recettes flexibles pour répondre aux exigences des charges de travail de production. EMITECH K575X utilise des contrôleurs de mouvements de précision et un outil d'automatisation pour contrôler le mouvement de la cathode de pulvérisation. Cela permet de contrôler avec précision la composition et l'épaisseur des couches, ainsi que la capacité de programmer des couches complexes pour une efficacité maximale du procédé. L'actif dispose également de deux sources d'ions indépendantes avec une gamme d'énergies de faisceau, de courants et de géométrie de faisceau pour maximiser la qualité du dépôt. La chambre de pulvérisation est équipée d'un traitement rapide intégré, d'un refroidissement latéral des substrats et de caractéristiques de rotation et d'inclinaison. Ceci assure une couverture de revêtement précise et homogène sur une variété de substrats plats, y compris des plaquettes semi-conductrices pour cellules photovoltaïques et composants mémoire. K575X est alimenté par une alimentation propre avec un blindage supplémentaire pour une sécurité maximale. En outre, le modèle est conçu pour répondre aux normes de sécurité mondiales et peut être intégré avec des systèmes de contrôle de processus tels qu'APC/MPC. Dans l'ensemble, EMITECH/EMCORE K575X Sputtering Equipment est un outil de dépôt de pulvérisation facile à utiliser, fiable et efficace. Il est idéal pour les applications de revêtement à haut débit et de couche barrière/adhérence pour l'industrie des semi-conducteurs. Il offre des dépôts précis et rentables à des débits élevés tout en assurant une sécurité maximale dans l'environnement de la salle blanche.
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