Occasion HITACHI E-1030 #9151980 à vendre en France

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ID: 9151980
Ion sputtering system Stage: Full auto.
L'équipement de pulvérisation HITACHI E-1030 est un système polyvalent et performant pour le dépôt de couches minces. Il utilise la meilleure technologie de dépôt par pulvérisation pour fournir une solution de dépôt rentable pour la recherche et la production. L'unité offre une grande homogénéité angulaire de dépôt, un excellent contrôle et répétabilité, un faible coût d'exploitation, et un contrôle supérieur de la vitesse de dépôt - le rendant parfait pour une large gamme d'applications de dépôt. E-1030 utilise une machine transversale à trois éléments, composée de deux cibles tournantes et d'un canon à électrons. L'outil est alimenté par une alimentation en magnétron 850W DC et utilise un aimant de 75mm. La structure de l'aimant est conçue pour maintenir un plasma à haute densité à proximité des surfaces cibles, ce qui assure une pulvérisation uniforme sur une large zone spatiale. L'outil de contrôle permet un contrôle précis des paramètres du processus, tels que la pression, le débit de gaz et la puissance plasmatique. La chambre à vide de HITACHI E-1030 est en acier inoxydable et dispose d'une jauge ionique haute performance pour maintenir une pression de base de 10-7 torr. Le modèle dispose également de fixations de chargement supérieur et de masques d'échantillons qui automatisent le processus de dépôt et économisent du temps précieux. Les capacités du masque d'échantillon permettent un contrôle précis de l'épaisseur, de la forme et de la taille du dépôt. E-1030 est également équipé de sources de chauffage WIG et de refroidisseurs d'entrée de fond qui permettent à l'équipement de déposer des matériaux à des températures allant jusqu'à 500 ° C Cela rend le système bien adapté pour le dépôt de films doux et durs. L'unité est également capable de déposer des diélectriques et des films métalliques à des épaisseurs allant jusqu'à 50 microns sans dégradation perceptible du film. HITACHI E-1030 offre précision, fiabilité et flexibilité dans un emballage compact. C'est une machine de dépôt polyvalente qui convient à une grande variété d'applications, y compris les semi-conducteurs, l'optique, les capteurs, les MEMS et les domaines liés à l'énergie. C'est un outil convivial qui est facile à mettre en place et à utiliser, ce qui en fait un excellent choix pour les environnements de recherche et de production.
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