Occasion MRC 603 #9219234 à vendre en France

Le MRC 603 est un équipement de pulvérisation à petite échelle de pointe destiné à la recherche et au développement. Il peut être utilisé pour le dépôt de couches minces avec une homogénéité exceptionnelle et un contrôle de procédé supérieur. Le système se compose d'une chambre de serrure à vide ultra-élevé, d'une cible de pulvérisation rotative non magnétique sous vide, d'un contrôle personnel par ordinateur (situé dans une console de l'opérateur 3x5 ') et d'une alimentation en gaz inerte. La chambre de pulvérisation, avec alimentation haute tension et contrôleur, est utilisée pour le dépôt de film. La chambre accueille diverses sources de pulvérisation, y compris des sources magnétron et radiofréquence (RF). La cible de pulvérisation est installée à l'intérieur de la chambre et est rotative afin de minimiser la variation d'épaisseur du film, ce qui assure un dépôt uniforme de part et d'autre d'un échantillon de substrat. L'unité utilise une évaporation à faisceau d'électrons monocouche en boucle fermée et une pulvérisation directe à partir d'une source périodiquement alternée. Cela permet des temps de dépôt plus rapides tout en fournissant des couches minces de la plus haute qualité. L'échantillon de substrat est maintenu en place par un étage de vide à trois axes et peut être ajusté dans des plans x-y-z avant pulvérisation. Après dépôt du film, l'échantillon peut être transféré dans une chambre de refroidissement afin de le refroidir rapidement. La machine est équipée de fonctions avancées de contrôle et de surveillance des processus qui fournissent une répétabilité des processus et des paramètres réglables pour augmenter les rendements de production. Il utilise un outil de rétroaction en boucle fermée qui surveille la vitesse de pulvérisation du matériau cible, la température, la pression et le débit de gaz afin de maintenir les paramètres du processus. 603 permet aux utilisateurs de déposer des films minces uniformes, contrôlables et de haute qualité dans un petit atout de pulvérisation. C'est un outil efficace et fiable qui peut être utilisé pour le dépôt d'un large éventail de matériaux pour différents types de projets. Il offre un contrôle et une répétabilité des processus supérieurs, ce qui le rend adapté aux applications de recherche et de développement hautement spécialisées.