Occasion MRC 902 #9171689 à vendre en France

MRC 902 est un équipement de pulvérisation perfectionné conçu pour le dépôt en couches minces. Il utilise des sources d'énergie à courant continu (DC) ou à radiofréquence (RF) pour générer un plasma raréfié contenant des ions énergétiques, qui frappent alors le substrat et la surface du matériau cible pour provoquer la pulvérisation. 902 est composé d'une chambre à vide, d'un porte-cible, d'un porte-substrat et d'une alimentation électrique. La chambre à vide est la chambre principale de l'unité, c'est-à-dire où se déroule le processus de pulvérisation. Il doit être étanche à l'air et doit pouvoir réaliser et maintenir un vide. Le porte-cible contient le matériau cible pulvérisant, qui peut être de compositions différentes selon le matériau à couche mince désiré. Le porte-substrat sert à maintenir le substrat sur lequel le film mince sera déposé. L'alimentation électrique est la source d'énergie utilisée pour produire le plasma ; il peut être soit DC, soit RF. La machine dispose d'un régulateur de pression d'oxygène in situ supplémentaire, qui peut être utilisé pour ajuster la pression d'oxygène pendant le processus de pulvérisation pour une meilleure qualité de film. Pour assurer un dépôt uniforme de couches minces, la cible est montée sur un écran rotatif, ce qui assure une couverture uniforme des substrats. Pour commencer le processus de pulvérisation, la chambre à vide doit être évacuée. Deux pompes sont utilisées : une pompe à rugosité pour atteindre une basse pression et une pompe de diffusion pour réduire encore la pression. Une fois la pression suffisamment basse, l'alimentation est utilisée pour générer un plasma à l'intérieur de la chambre. Les ions énergétiques dans le plasma peuvent alors pénétrer sur le substrat et la cible, provoquant une pulvérisation. Le matériau pulvérisé se sublime puis se condense sur le substrat, formant le film mince. Le processus peut être ajusté mécaniquement et il est facile à utiliser. L'outil est équipé d'un atout de contrôle automatique, qui permet à l'utilisateur d'ajuster facilement les paramètres de pulvérisation, tels que la tension et le courant. Il dispose également d'un modèle d'enregistrement des données, qui peut être utilisé pour surveiller le processus en temps réel et enregistrer tout changement. L'équipement de pulvérisation MRC 902 offre une excellente plate-forme pour le dépôt en couches minces. Il convient à un large éventail d'applications, telles que la réalisation de couches minces conductrices, optiques et protectrices. Il est efficace en énergie et produit des couches minces homogènes et homogènes avec d'excellentes propriétés.