Occasion PERKIN ELMER 2400 #9022812 à vendre en France

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ID: 9022812
Sputtering system CTI-8 cryo pump Power supply in separate cabinet Veeco RG1000 pressure gauge MKS Baratron (4) Targets Welch mechanical pump Argon and Nitrogen are plumbed in Flows are controlled by MFCs Power is RF only Sputtered: silicon.
PERKIN ELMER 2400 Sputtering System est un outil mondial de pulvérisation qui fournit des couches de dépôt précises pour les couches minces, les nanostructures et les empilements multicouches sur les substrats. Il est idéal pour diverses applications, du revêtement de précision à la fabrication d'appareils opto-électroniques et MEMS. Grâce à sa conception robuste et à haut débit, il est capable d'obtenir une pulvérisation à haute vitesse avec précision et précision. La machine est équipée d'une chambre de verrouillage de charge à surface variable pouvant accueillir des substrats jusqu'à 200 mm de diamètre, ainsi que de multiples cibles planétaires capables de pulvériser de multiples métaux et une large gamme d'alliages. Les cibles sont montées sur une source d'alimentation en courant continu sans pulvérisateur brevetée qui peut simultanément entraîner jusqu'à six cibles équipées de sources RF indépendantes. La source de courant continu haute tension couplée aux générateurs RF permet des revêtements très uniformes sur de grandes surfaces ainsi que des taux de dépôt supérieurs aux températures cibles jusqu'à 400 ° C 2400 possède une capacité de contrôle des procédés dépendant de la température qui permet le dépôt de nanostructures, de piles à couches minces et d'autres dispositifs à base de matériaux avec une qualité et une répétabilité constantes. L'homogénéité et la reproductibilité de la température sont contrôlées à l'aide d'un pyromètre de résolution ± 0,1 ° C La surveillance avancée des processus RF permet d'obtenir une rétroaction en temps réel sur les températures des substrats afin de garantir des résultats optimaux de nettoyage et de dépôt des substrats. Le système dispose également de la technologie de pulvérisation perpendiculaire avec le plancher-effecteurs d'extrémité qui permet le revêtement 3D. Il est équipé d'un générateur d'impulsions programmable embarqué qui peut être utilisé pour faire varier les profils de fréquence et de largeur des impulsions pour des résultats de revêtement optimaux. Un microscope électronique à balayage hébergé dans la chambre peut être utilisé pour surveiller in situ le processus de dépôt. PERKIN ELMER 2400 est conçu pour accueillir jusqu'à neuf pédales à baïonnette différentes qui sont équipées de divers outils nécessaires au chargement et au déchargement des échantillons, à la manipulation des substrats et au dépôt. Le système dispose également d'une interface graphique intuitive et offre un contrôle complet de la fabrication assistée par ordinateur (CAM) avec une compatibilité logicielle complète. 2400 est une solution idéale pour les applications de pulvérisation à haute performance, offrant une précision, une fiabilité et un débit supérieurs.
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