Occasion TRIKON Sigma 200 #9225665 à vendre en France

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Fabricant
TRIKON
Modèle
Sigma 200
ID: 9225665
Taille de la plaquette: 6"-8"
Style Vintage: 1995
FxP Sputtering system, 6"-8" Set up for 6" Both 4" and 8" conversion kits included Automatic handling system for 25 wafers (3) Chambers: Ti / TiN, Al And Ar sputter clean PFEIFFER Turbo (2) EBARA Dry pumps (3) CTI Cryos with compressor (2) DC Generators (3) RF Generators 1995 vintage.
TRIKON Sigma 200 est un graveur/asher à plasma sec spécialement conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés. Il offre des performances supérieures pour les processus de gravure et de cendres dans un emballage compact et abordable. Sigma 200 attaque efficacement les composés organiques volatils (COV) de la surface des plaquettes, ce qui donne une surface extrêmement propre avec une gravure au dos minimale. Il est également capable de réaliser un profil de gravure de rapport d'aspect propre et élevé avec un faible coût de fonctionnement. TRIKON Sigma 200 dispose d'une chambre de travail suffisamment grande pour accueillir une large gamme de tailles de plaquettes. La chambre est équipée d'un équipement de chargement automatique capable de manipuler jusqu'à 3 pouces de plaquettes et 25 millimètres de plaquettes. Un système avancé de surveillance des processus surveille tout changement dans le processus de gravure. L'unité est également capable de contrôler les processus de gravure et de cendres en mode impulsionnel et continu. Sigma 200 est équipée d'un design robuste, entièrement métallique et d'un moteur à couple élevé pour atteindre une productivité maximale. La machine offre également un excellent contrôle du processus et une répétabilité sur une large gamme de charges. Divers apports de gaz sont également disponibles pour répondre aux exigences de processus de différents matériaux tels que le silicium, l'aluminium, le verre et d'autres oxydes. TRIKON Sigma 200 offre une variété de procédés de gravure et de cendres. Il est capable de gravure isotrope et anisotrope, avec des pressions variables, des débits et des niveaux de puissance pour fournir un contrôle de précision sur le processus. L'outil est également capable d'obtenir une forme de gravure à haut rapport d'aspect, ce qui est souvent requis pour des dispositifs semi-conducteurs plus avancés. En outre, l'actif peut être utilisé pour la gravure d'oxyde de grille, les ouvertures de source et de drain pour les cellules mémoire, et les ouvertures de contact pour les films métalliques minces. Pour ceux qui ont besoin d'un graveur/asher avec une excellente qualité et flexibilité, Sigma 200 est un choix idéal. Sa faible empreinte, ses faibles coûts d'exploitation et son excellent contrôle des processus permettent aux utilisateurs de tirer le meilleur parti de leurs budgets de gravure et de cendres.
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