Occasion TRIKON Sigma FxP #9253626 à vendre en France
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Vendu
ID: 9253626
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
Metal deposition systems
Platen HSE MK2, 8" (P/N: TR-133072/B)
TI-Heater assy platen, 8" (P/N: 188855)
No Pumps / Chiller
Configuration:
Hot sputter etch chamber: Station 2 (DepE-HSE)
Station 0: BROOKS M800
Station 1: BROOKS VCE
Station 2: Hot sputter etch (Rack)
Station 3: Hot sputter etch (Rack)
Station 4: Deposition (Rack) TTN
Station 5: Deposition (Rack) TTN
Station 6: Deposition (Rack) ALU
Station 8: BROOKS VCE
Station 9: BROOKS Inliner
Station 10: BROOKS Top cooler
Station 11: BROOKS Buffer
(2) Load locks:
Station 1: VCEA
Station 8: VCEB
(3) Deposition chambers:
Station 3: (DepC- HU platen aluminium)
Station 4: (DepB - HiFill TTN)
Station 5: (DepA - HiFill TTN)
Pre heat chamber: Station 7
Orienter: Station 9 (In front of VCEA)
Top cooler for cooling wafers: Station 10 (In front of VCEB)
LEYBOLD CoolVac 1500 O-Ring sealed
Transport chamber
DC Power supplies for single and double rack
Turbo controller
Main computer
Main AC
RF / DC Power supplies
Chamber AC control
Temperature set point: 20°C
Resistivity set point: > 50 kΩ
Recirculating flow: 20 gpm
Recirculating pressure: 22 psi
BROOKS MAG7 Robot included
Process modules:
DepA
DepB
DepC and DepE
2001 vintage.
TRIKON Sigma FxP est un graveur et asher qui a été développé pour fournir un contrôle précis des processus de gravure et ashing plasma. Il utilise un équipement entièrement intégré de la gravure au placage pour fournir un outil puissant pour les applications industrielles ainsi que les graveurs de recherche et asher. Le système peut être utilisé pour divers procédés tels que la gravure ionique réactive (RIE), les micro-ondes, la pulvérisation par pulvérisation réactive et d'autres procédés de gravure et de cueillette. Il se compose de plusieurs composants tels qu'une chambre à vide, un générateur de micro-ondes, un poste de travail robotique, un générateur de plasma et une source de pulvérisation. L'unité est entièrement automatisée et permet aux utilisateurs de créer des recettes de processus optimisées pour différentes applications de gravure et d'ashing. Sigma FxP fonctionne en utilisant une combinaison de micro-ondes et de radiofréquences pour générer un plasma à partir de la chambre de réaction. Ce plasma fournit un environnement très réactif, idéal pour les processus de gravure et de cueillette. La chambre RIE contient un tube de quartz, un milieu diffusant, une électrode primaire et un absorbeur de gaz dangereux. Les micro-ondes sont alimentées à partir d'un magnétron et transmettent de l'énergie à la chambre de réaction. Cette énergie est utilisée pour générer du plasma à l'intérieur du tube à quartz. Le gaz à l'intérieur de la chambre est pressurisé pour atteindre les conditions idéales de gravure et de cueillette. La machine Sigma FxP TRIKON comprend également un poste de travail robotique pour optimiser les processus de gravure et de cueillette. Cela permet aux utilisateurs de programmer les processus automatisés pour des résultats répétables. En outre, cet outil dispose d'un moyen de contrôle automatique du débit de gaz pour contrôler le débit de gaz vers la chambre de réaction. Dans l'ensemble, le modèle Sigma FxP est un outil efficace pour graver et aspirer les processus qui est utilisé à la fois dans la recherche et l'industrie. Il fournit une grande précision aux processus de gravure et de cueillette et en conséquence, des résultats optimisés. Il permet aux utilisateurs d'optimiser les processus de gravure et d'ashing grâce à son équipement entièrement automatisé et à la programmation automatisée des processus. De plus, ce système dispose d'une puissante unité de contrôle du débit de gaz, qui contribue à créer un environnement propice à la gravure et à la cueillette.
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