Occasion ULVAC Ceraus ZX-1000 #9012938 à vendre en France

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ULVAC Ceraus ZX-1000
Vendu
ID: 9012938
Sputtering system.
L'équipement de pulvérisation ULVAC Ceraus ZX-1000 est conçu pour le dépôt de couches minces pour diverses applications. Par le procédé de pulvérisation, un gaz inerte tel que l'argon est ionisé, permettant d'éjecter des particules du matériau cible et de recueillir sur le substrat. Le système de pulvérisation peut être utilisé pour déposer différents matériaux tels que des métaux, des semi-conducteurs, des isolants et des conducteurs transparents. L'unité de pulvérisation ULVAC CERAUS ZX 1000 se compose d'une chambre de dépôt, de deux pistolets de pulvérisation, de deux magnétrons, d'une chambre de dépôt d'échappement et de composants associés au vide. Les deux pistolets pulvérisateurs sont séparés de part et d'autre de la chambre de dépôt et comportent trois cibles polarisables de 170 mm, un filtre magnétique cylindrique et une fenêtre à quartz pour visualiser le procédé. Ceci permet un double dépôt de matériaux différents et le filtre magnétique élimine les particules micrométriques du dépôt. Les deux magnétrons sont commandés pour régler la puissance du procédé de pulvérisation et l'échappement de la chambre de dépôt est capable d'évacuer la chambre dans un court laps de temps. La machine à pulvériser Ceraus ZX-1000 utilise une alimentation en magnétron continu pour ioniser le gaz d'argon et un réchauffeur de substrat pour le traitement pré-thermique. Le chauffe-substrat est également utilisé pour maintenir une température de substrat plus élevée avec des propriétés de film améliorées. Le logiciel de contrôle de l'outil permet aux utilisateurs de surveiller et d'ajuster les paramètres du processus au besoin. CERAUS ZX 1000 pulvérisateur actif fournit des films fiables et uniformes avec des propriétés reproductibles. Ce modèle est idéal pour les substrats pulvérisateurs à grande surface et à haut débit de petits substrats. La conception robuste et l'utilisation de sources d'énergie MF assurent un fonctionnement stable et efficace de l'équipement. Le système offre un contrôle supérieur des paramètres du processus, offrant une excellente uniformité et une reproductibilité du film élevée. L'unité de pulvérisation ULVAC Ceraus ZX-1000 est adaptée à la recherche et au développement ainsi qu'aux applications de production.
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