Occasion ULVAC MCH-4500 #58270 à vendre en France

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ID: 58270
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1994
Sputtering systems, 6", system operation before de-installed, stored in a cleanroom, can inspect, as is, 1994 vintage.
ULVAC MCH-4500 est un équipement de pulvérisation versatile qui offre des capacités de dépôt en couches minces de haute qualité pour une variété de matériaux. Le système comprend trois cibles de pulvérisation, avec la possibilité de faire tourner chacune des cibles indépendamment. Cela permet à l'utilisateur d'effectuer efficacement le co-pulvérisation avec deux matériaux différents. La puissance des pulvérisateurs peut être ajustée indépendamment pour chaque cible, allant de 0 à 2000W, ce qui permet l'utilisation de divers gaz de travail. MCH-4500 supporte également le rayonnement de polarisation ainsi que le bombardement continu du faisceau d'ions avec un courant d'ions maximal de 600mA. ULVAC MCH-4500 a une surface cible efficace de 450mm x 350mm, permettant le dépôt de plaquettes jusqu'à un diamètre de 210mm. Le plateau de chargement de l'échantillon pratique rend le chargement et le déchargement des plaquettes rapide et facile. De plus, l'utilisation d'une technique spéciale de blindage permet aux parois de la chambre de rester refroidies alors que l'intérieur est maintenu sous un vide élevé. Cette méthode de refroidissement permet d'éviter le dépôt de films ou de matériaux indésirables sur les parois de la chambre et peut contribuer à augmenter la répétabilité du procédé. La chambre est en acier inoxydable et utilise une structure étanche forte pour un bombardement ionique uniforme et/ou une génération de plasma à l'intérieur de la chambre. Cette conception décontractée aide également à maintenir la chambre propre pendant le dépôt et aide à minimiser la contamination des films par les matériaux pulvérisés. De plus, l'unité est conçue avec un support de substrat flottant qui assure un niveau de plaquette, permettant un dépôt uniforme en couches minces. Pour permettre le dépôt programmable, reproductible et reproductible des films, MCH-4500 est livré avec une machine de contrôle informatique tactile. Le logiciel offre différents modes de fonctionnement, y compris le courant de pulvérisation fixe, l'épaisseur déposée et la vitesse de gravure. Cela fait d'ULVAC MCH-4500 un excellent choix pour des applications telles que le recuit thermique rapide, les revêtements optiques à couches minces et la fabrication avancée de dispositifs. ULVAC-MCH-4500 offre un outil de pulvérisation polyvalent et puissant, parfait pour une gamme de procédés de dépôt en couches minces. Sa capacité à faire tourner avec précision les cibles, à ajuster la puissance des pulvérisateurs, à maintenir une chambre propre et à programmer facilement les paramètres, fait d'ULVAC MCH-4500 un choix idéal pour ceux qui recherchent des capacités de dépôt de couches minces puissantes et répétables.
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