Occasion ULVAC SMD-450 #9269742 à vendre en France
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L'équipement ULVAC SMD-450 est un outil de pointe pour le dépôt de couches minces sur plaquettes et substrats. Ce système de pulvérisation intègre les dernières technologies énergétiques et uniformes de pulvérisation, ce qui en fait un choix idéal pour la recherche et les applications industrielles. SMD-450 est équipé de deux cathodes, permettant le dépôt de deux couches distinctes sur l'échantillon en même temps. Il présente une structure de source linéaire à deux niveaux pour un bombardement ionique maximal, une uniformité accrue et une diminution de la canalisation ionique. Cette unité avancée peut également être configurée avec n'importe quel matériau cible, comme les métaux, les oxydes, les nitrures, les semi-conducteurs, et d'autres. Dans la pulvérisation classique de magnétron et de gaz inerte, la température du substrat n'est pas contrôlée. Ceci provoque des épaisseurs de film différentes selon les parties de l'échantillon. ULVAC SMD-450 dispose d'un support de substrat à température contrôlée, permettant aux utilisateurs de contrôler la température du substrat jusqu'à 400 ° C Ceci élimine la non-uniformité causée par la dérive thermique. SMD-450 dispose également d'une empreinte compacte et est conçu pour une utilisation efficace de l'espace. Il dispose d'un total de quatre chambres pour un maximum de 10 cibles, tandis que son port cible de grande capacité permet des opérations de chargement rapides. Pour réduire le temps et le coût d'entretien, il dispose d'une machine de refroidissement en boucle fermée à deux étages qui capte l'eau et la poussière. Cet outil de pulvérisation supporte une variété de systèmes de contrôle plasma de haute précision pour fournir un profil uniforme et même de pulvérisation. Il offre également un haut degré de contrôle du processus sur des paramètres tels que le rapport cyclique, la pression et le débit de gaz. Cet outil peut manipuler une variété d'échantillons et de substrats, y compris des articles et des sections de forme irrégulière, ainsi que des dispositifs et des structures à petite échelle. L'actif de pulvérisation ULVAC SMD-450 de pointe offre un contrôle inégalé, la fiabilité, l'uniformité et la productivité. C'est le choix idéal pour réaliser des couches minces sur de nombreux types de substrats et échantillons.
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