Occasion ULVAC Z-1101 #293610445 à vendre en France
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ID: 293610445
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering system, 6"
TMP Turbo pump missing.
ULVAC Z-1101 est un équipement de pulvérisation hautement efficace utilisé pour diverses applications de revêtement. Ce système utilise un procédé de pulvérisation à haute fréquence et à forte puissance qui utilise un champ magnétique de forte puissance pour générer un plasma à haute densité. Z-1101 est capable de déposer un large éventail de matériaux de pulvérisation, y compris le titane, l'aluminium, l'acier inoxydable et le cuivre. ULVAC Z-1101 est une unité de dépôt de pulvérisateurs multi-cibles à chambre unique, d'une taille approximative de 16 "× 16" × 16 ". La chambre de dépôt comprend un dôme secondaire chauffé d'émission d'électrons (SEE), une ligne d'échappement et deux cassettes à quartz pouvant être utilisées pour le transport des plaquettes. Z-1101 machine est équipée d'un module d'alimentation haute densité et haute puissance, d'un générateur de pulvérisateurs RF, d'un outil de contrôle automatique de la pression (APC) et d'une unité de refroidissement de l'eau. ULVAC Z-1101 utilise un procédé de pulvérisation magnétron offrant des performances plasmatiques à haute densité et supérieures. Le module d'alimentation est conçu avec une densité de puissance élevée de 0,5 kW/in3 et un champ magnétique homogène de 3,5 Tesla. La puissance RF est ajustée entre 0 et 15kWatts pour offrir des performances de pulvérisation maximales et une excellente couverture. Le générateur RF est équipé d'un atout de réglage automatique de fréquence, permettant au processus de cibler plusieurs matériaux de pulvérisation. La haute fiabilité et la précision de Z-1101 le rendent très recherché pour ses résultats répétables et passivants. Son affichage numérique assure un contrôle et une surveillance précis des paramètres du processus en tout temps. Le modèle dispose d'un contrôleur embarqué puissant avec une interface conviviale et une base de données de processus permettant une modification facile des paramètres de l'équipement. Ce système de pulvérisation offre également une exposition uniforme des matériaux, ce qui peut être bénéfique pour réduire la taille du masque et l'effet d'ombre. De plus, une unité multi-cibles permet une couverture optimale avec une pulvérisation uniforme à grande surface par rapport à une unité mono-cible. L'ULVAC Z-1101 offre également un large éventail de capacités de procédé, y compris le dépôt couche par couche, le dépôt assisté par ions, la pulvérisation par pulvérisation réactive et le dépôt d'oxyde de titane. Z-1101 est un excellent choix pour les industries nécessitant des applications de revêtement de précision et peut être utilisé dans l'automobile, l'affichage, l'électronique, les panneaux plats et les milieux de stockage magnétique. Cette machine est capable d'atteindre des taux de dépôt élevés, permettant un processus de production rapide et un débit accru.
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