Occasion ULVAC Zi-1000 #9219049 à vendre en France

ULVAC Zi-1000 est un équipement de pulvérisation conçu pour déposer des films minces avec précision et uniformité. Il est adapté à un large éventail d'applications, y compris les substrats semi-conducteurs, les cellules solaires, les puces LED, et d'autres dispositifs. Le système de pulvérisation est constitué d'une chambre à vide, d'une cible de pulvérisation, d'un orifice de vision, d'une unité de dépression et d'une alimentation électrique. La chambre à vide est composée d'une coque métallique soudée extérieure, d'une paroi intérieure et d'une base céramique. Il est conçu pour être scellé sous vide d'air afin de maintenir un dépôt de film uniforme sur l'échantillon. La cible de pulvérisation est une électrode par laquelle la pulvérisation efficace est possible par application d'une haute tension. Le port de visualisation permet l'observation et le contrôle du dépôt de film en cours. La machine est équipée d'une pompe moléculaire turbo, de pompes mécaniques Booster et de pompes de traînée moléculaire turbo, qui fournissent une pression de base de 5E-4 Pa et un débit élevé. L'alimentation est un module à commutation de transistor haute fréquence, qui fournit une puissance réglable pour la pulvérisation et permet l'utilisation de paramètres d'impulsions personnalisés. Zi-1000 convient pour le dépôt de métaux, d'oxydes et de composés d'épaisseur uniforme sur des substrats plats et est largement utilisé dans la fabrication et l'application de dispositifs semi-conducteurs.