Occasion VARIAN 3120 #9258459 à vendre en France

VARIAN 3120 est un équipement de pulvérisation magnétron à courant continu conçu pour déposer des couches de métaux, de diélectriques et de matériaux semi-conducteurs. Le système de pulvérisation par pulvérisation comprend une chambre à vide, une source de magnétron de fond, deux sources de canon à inondation, trois mélangeurs à gaz et un gonfleur cible pour contrôler la température du substrat. La chambre à vide est en acier inoxydable et a une dimension de 600mm de diamètre et 800mm de hauteur. Il comporte un ensemble de vanne de grille et comporte une fenêtre d'observation de substrat. Il dispose de deux pompes, une pompe turbomoléculaire et une pompe mécanique, pour créer une atmosphère à vide élevé. La pompe turbomoléculaire fournit une pression soutenue de 2x10 ^ -5 Pa, tandis que la pompe mécanique fournit une pression de base de 3x 10 ^ -7 Pa. Le gonfleur cible est utilisé pour réguler les températures du substrat, permettant à l'utilisateur de régler une température du substrat comprise entre 0 et 200 ° C Il utilise un chauffage de précision, un capteur de température intégré et une unité de régulation de température. La source magnétron de Hall est utilisée pour pulvériser un film sur un substrat. Il a une conception couplée inverseur, qui permet une alimentation optimisée pour un processus de pulvérisation stable avec la plus haute résolution. Le magnétron Hall permet une puissance variable jusqu'à 2500 watts et fonctionne à une pression de pulvérisation de 2x10 ^ -2 mbar. Deux canons d'inondation à faisceau E sont prévus pour la pulvérisation et le dépôt de métaux. Ils sont contrôlés électroniquement et utilisent le filament de tungstène comme matériau source. Le filament peut fournir jusqu'à 8 000 Volts de puissance, permettant le dépôt uniforme de couches épaisses de métal et de matériau diélectrique. Les trois mélangeurs à gaz munis de la machine permettent une alimentation continue en gaz pour les procédés réactifs de pulvérisation. Les mélangeurs à gaz sont capables d'alimenter la chambre en Argon, Oxygène et Azote. Cela permet à l'utilisateur de créer une variété de différents environnements réactifs de pulvérisation. L'outil de pulvérisation 3120 fournit à l'utilisateur un outil fiable et précis pour les procédés de dépôt métallique et diélectrique. Il est facile à utiliser, permettant aux utilisateurs de configurer et d'ajuster rapidement les processus. L'actif utilise une technologie de pointe pour assurer des dépôts cohérents et performants au niveau de la salle blanche.