Occasion VARIAN 3180 #143941 à vendre en France

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VARIAN 3180
Vendu
ID: 143941
Taille de la plaquette: 5"
Sputtering system, 5".
VARIAN 3180 est un équipement de pulvérisation conçu pour déposer des couches de couches minces sur des substrats avec la plus grande pureté et uniformité possible à des taux de dépôt élevés. Il offre une gamme complète de fonctionnalités, y compris les configurations d'alimentation en courant continu et en radiofréquence, le contrôle numérique de l'épaisseur et le refroidissement actif ou passif du substrat. Avec une large gamme de gaz de procédé et plusieurs systèmes internes de distribution de gaz dans une enceinte à température contrôlée, il est capable de fonctionner dans les configurations Planar Magnetron et Triode. 3180 possède également plusieurs caractéristiques uniques, y compris des capacités de surveillance et de diagnostic à distance, des sources doubles avec dépôt simultané et le stockage automatique de données sur le Web. Ce système de pulvérisation est également capable d'utiliser une grande variété de sources d'énergie et de gaz de traitement, y compris une puissante alimentation en courant continu de 150 kW et une alimentation RF de 260 kW. En plus de ses systèmes d'alimentation avancés, VARIAN 3180 utilise également un logiciel de contrôle avancé qui permet un contrôle précis du processus de dépôt. L'unité dispose de dix points d'entrée de gaz de procédé et de contrôleurs indépendants intégrés pour chaque type de gaz. Cela permet un contrôle précis des paramètres du procédé et en utilisant plusieurs types de gaz, la machine peut facilement déposer plusieurs couches à la fois. Le logiciel capture et surveille également les données vitales en temps réel, ce qui facilite la tendance et l'analyse des données. L'outil comprend également une gamme de systèmes de chargement d'échantillons, y compris un convoyeur linéaire intégré, un chargeur de navette, un matériel de stockage d'échantillons à haute densité et un modèle de routage d'échantillons unique. Il offre également un contrôle précis de la température, les températures pouvant être ajustées avec une précision de 10 microns. 3180 équipements de pulvérisation sont une solution polyvalente, efficace et à haut débit pour les besoins de dépôt de couches minces. En offrant un choix d'alimentations électriques et en offrant plusieurs sources de dépôt internes, un contrôle précis des processus et une gestion précise de la température du substrat, ce système garantit des résultats de dépôt de la plus haute qualité. En outre, les diagnostics avancés et les capacités de surveillance à distance permettent une analyse de processus facile et précise à partir de n'importe quel endroit.
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