Occasion VARIAN 3180 #69386 à vendre en France

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VARIAN 3180
Vendu
ID: 69386
Taille de la plaquette: 4"
Sputtering systems, 4" Throughput: 60 wafer/hr for 1 micron aluminum alloy deposition, independent of water size Film thickness uniformity, 100mm: +/-5% across wafer for aluminum alloys excluding out 0.0625" of water Film thickness uniformity, 125mm: +/-6.5% across wafer for aluminum alloys excluding out 0.0625" of water Vacuum system: Deposition chamber: Varian Cryostock-12FA closed-loops helium pump, 12" Load lock: 14cfm Deposition source: Type: close-coupled dc conical Magnetron Orientation: vertically mounted for sideways sputtering Deposition rate: ~12,000A/min Cathode: 7" dia., annular Cathode life: 2000 one-micron Deposition DC power supply: 12kW Operating Crated.
VARIAN 3180 est un équipement de pulvérisation haute performance qui offre des performances de revêtement optimales pour un large éventail d'applications. Le système est composé d'une unité de pulvérisation magnétron à courant continu qui est capable d'atteindre des taux de dépôt élevés jusqu'à 180nm/min ainsi qu'une excellente couverture. Le revêtement pulvérisateur est un procédé qui fait appel à des aimants à courant continu (courant continu) de grande puissance, à une chambre de dépôt et à une machine à vide. L'outil de pulvérisation magnétron permet de contrôler en dernier ressort les caractéristiques du dépôt telles que l'épaisseur et la qualité de surface. 3180 est contrôlé par le logiciel PLCDAQ qui est capable de contrôler tous les processus au sein de l'actif. Le logiciel permet également à l'utilisateur de sélectionner les matériaux sources, la géométrie de la chambre, le cycle de processus et tous les autres paramètres du processus de revêtement des pulvérisateurs. En outre, le logiciel peut stocker toutes les recettes utilisées dans le modèle afin de faciliter un démarrage plus rapide et d'augmenter la commodité d'utilisation. VARIAN 3180 est composé de plusieurs composants qui sont importants pour un revêtement efficace des pulvérisateurs. Par exemple, la chambre de l'équipement est équipée d'un revêtement de longue durée, qui offre une protection supérieure contre la contamination, l'usure et les dommages physiques. En outre, la chambre offre une étanchéité supérieure aux gaz et est capable de répondre aux processus atmosphériques et à vide élevé. La chambre offre un niveau d'homogénéité exceptionnel, permettant le revêtement uniforme d'un substrat sans effets d'ombre. Les sources de faisceau d'ions piloté par RF assurent un chauffage du substrat uniforme et plus rapide que l'évaporation thermique. La source d'ions à haute tension alimentée par RF est encore plus capable d'augmenter la vitesse de dépôt. La source de pulvérisation peut également être ajustée pour assurer un meilleur bombardement ionique du matériau cible, ce qui permet d'améliorer les performances et la qualité des revêtements de pulvérisation. 3180 offre un large éventail d'avantages qui en font un système de pulvérisation supérieur. Il offre d'excellentes performances de revêtement avec une couverture supérieure, un fonctionnement fiable et stable, et une vitesse et une uniformité supérieures. En outre, l'unité est hautement personnalisable et capable de loger une variété de géométries de chambre et de matériaux sources. En tant que tel, VARIAN 3180 est idéal pour une gamme d'applications industrielles et scientifiques, fournissant la fiabilité, la vitesse et la précision nécessaires pour des performances de revêtement supérieures.
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