Occasion VARIAN 3190 #42672 à vendre en France

VARIAN 3190 est un système perfectionné de dépôt physique en phase vapeur (PVD) conçu pour la recherche et les applications industrielles. Avec une température maximale de procédé de 1400 ° C, et une gamme de pressions de processus de 10 ^ -2 à 10 ^ -7 Torr, cette unité hautement polyvalente et fiable peut exécuter de manière optimale une large gamme de procédés de revêtement et d'applications de dépôt en couches minces. La machine est constituée de deux chambres interconnectées, la chambre supérieure logeant l'ensemble cible de pulvérisation et la chambre inférieure sous vide contenant les substrats. L'ensemble cible de pulvérisation peut accueillir jusqu'à trois sources cibles indépendantes configurées avec une source de pulvérisation RF ou DC. De plus, les cibles peuvent être adaptées au matériau de revêtement désiré, permettant le dépôt de métaux, d'alliages, d'oxydes et de diélectriques. 3190 utilise une technologie avancée de contrôle de biais de substrat, permettant un contrôle précis du potentiel de substrat et une uniformité précise. Cette technologie permet également un contrôle indépendant des paramètres de dépôt par pulvérisation pour chaque cible, augmentant encore l'homogénéité du produit fini. En outre, l'outil comprend une plate-forme de chauffage et de refroidissement multi-zones avancée, permettant un contrôle précis de la température jusqu'à cinq zones de combustion, assurant une qualité supérieure et la répétabilité des résultats de dépôt. Combiné avec la plate-forme logicielle Web Optima de VARIAN, VARIAN 3190 offre un contrôle complet du processus de dépôt des pulvérisateurs, permettant une optimisation significative du résultat final. Cette interface intuitive permet également un suivi complet des paramètres du processus, permettant un diagnostic précis du processus et un dépannage. En outre, l'actif dispose également d'un outil de diagnostic de processus avancé, qui permet d'identifier facilement tout problème et de prendre des mesures correctives en temps réel. En bref, 3190 est un modèle PVD puissant et intuitif avec des caractéristiques de pointe conçues pour optimiser les processus de dépôt en couches minces. L'équipement offre un contrôle de procédé inégalé et une uniformité de substrat précise, ce qui en fait une plate-forme idéale pour un large éventail d'applications industrielles et de recherche.