Occasion VARIAN 3190 #9184623 à vendre en France

VARIAN 3190 Sputtering Equipment est un système PVD à haut débit conçu pour produire des revêtements de surface et des couches minces de qualité et de qualité élevées. Cette unité est idéale pour toute application nécessitant un traitement de surface précis. 3190 utilise une machine à vide à deux chambres à double source. La chambre de procédé est généralement maintenue à une pression de base de 10-6 mbar. Le côté dépôt de l'outil est constitué d'un sas de charge et de la chambre source de pulvérisation, équipée d'une source de faisceau d'ions résistif (RIB) commandée par obturateur. Le RIB contient une source de pulvérisation magnétron à courant pulsé et permet le chargement et le déchargement des modules. De plus, VARIAN 3190 est équipé d'une source d'ions haute fréquence et basse énergie pour la gravure ionique réactive (RIE) du matériau déposé. La température du substrat en 3190 est réglable de la température ambiante jusqu'à 500ºC. Il dispose également d'un actif d'injection de gaz sous vide pour la gravure dynamique des gaz de la surface traitée, améliorant encore les capacités fonctionnelles du modèle. Non seulement VARIAN 3190 est capable de générer des couches minces très uniformes, mais sa conception modulaire permet un passage rapide aux matériaux. Cela permet une répétabilité précise et un débit optimisé dans une faible empreinte. De plus, le 3190 est équipé d'un spectromètre de masse in situ pour la détection du point d'extrémité, garantissant que les couches déposées sont toujours de haute qualité et cohérentes grâce au procédé de pulvérisation. En conclusion, VARIAN 3190 est un équipement PVD de pointe capable de produire des surfaces et des micro-couches de matériaux de très haute qualité. Son système d'injection de gaz, sa source RIE et sa détection in situ des points d'extrémité contribuent tous à améliorer la stabilité et la répétabilité des processus.