Occasion VARIAN 3280 #148076 à vendre en France

VARIAN 3280 est un équipement de pulvérisation à uniformité de contenu conçu pour le dépôt de matériaux à haut débit et la fabrication de dispositifs. C'est une unité à canon unique, avec une seule chambre de pulvérisation, qui peut déposer des couches uniformes de métal, de diélectrique, et d'autres matériaux tels que des oxydes, des nitrures et des composés diamantifères. Il offre une vitesse de pulvérisation maximale de 180 Å/minute et est capable de produire des vitesses de dépôt élevées jusqu'à cinq fois supérieures à celles des autres systèmes de pulvérisation. La 3280 est équipée d'un manipulateur de rotation à basculement Robostage haut de gamme qui assure un alignement précis et une uniformité du film. Cette étape robotique permet aux utilisateurs d'obtenir une couverture uniforme sur de grandes surfaces tout en assurant l'uniformité des dispositifs à motifs. Le système d'inclinaison-rotation peut fournir une plage angulaire maximale de ± 25 ° en tangage, ± 35 ° en roulis et 180 ° en lacet, permettant une haute dynamique le long de l'axe Y pour une rotation efficace du substrat. VARIAN 3280 dispose d'une pompe à vide dynamique haute vitesse composée d'une machine de purge N2, d'une turbomachine et d'un outil de refroidissement cryopanel. Cela permet des cycles longs et une pompe rapide vers le bas, fournissant un excellent débit. En outre, il dispose d'un atout PLC pour améliorer le contrôle et la précision de la pression de la chambre et du débit de gaz, ainsi que d'une boucle de rétroaction PID pour un contrôle précis de la température avec des réglages d'uniformité de température. Le modèle est capable de pulvériser à des pressions de fonctionnement de l'ordre de 10-1 à 10 mTorr et une vitesse de pulvérisation typique de 15-20 Å/minute. 3280 offre un large éventail de sources qui peuvent être utilisées pour déposer des couches de matériaux, y compris des matériaux cibles standards tels que l'aluminium et le titane, ainsi que des matériaux plus spécifiques aux nitrures et aux oxydes, tels que le nitrure de titane et le dioxyde d'aluminium. Cela permet aux utilisateurs de déposer des couches homogènes en composition, morphologie et épaisseur sur l'ensemble du substrat sans avoir besoin de masques multiples ou d'ombres. Enfin, VARIAN 3280 dispose d'un module amélioré pour améliorer la productivité, capable de détecter le niveau de matière pulvérisée et la quantité de matière sur le substrat, permettant ainsi une pulvérisation répétable. En outre, l'équipement dispose d'un système logiciel de surveillance à distance et de paramètres avancés, ce qui permet d'optimiser le processus de dépôt et d'améliorer l'efficacité de la production.