Occasion VARIAN 3290 STQ #9134776 à vendre en France

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ID: 9134776
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering system, 6" Entity target configuration: Process station #2:ALSICU Process station #3:ALSICU Process station #4:ALSICU Process station cathode configuration: Station #2:Quantum(Ratating magnet) Station #3:Quantum(Ratating magnet) Station #4:Quantum(Ratating magnet) Heater configuration: Heater type (All station): DC BIAS Heater controller(AII station): Eurotherm 808 x 3 Power supply configuration: Outer PSU station #2: AE PINNACLE 12 KW Outer PSU station #3: AE PINNACLE 12 KW Outer PSU station #4: AE PINNACLE 12 KW System vacuum configuration: Compressor: Model 8600 8R Cryo pump: Yes Water pump: No Software configuration: User's guide: ECS 3000 Version: 96.204.10U1 Floppy drive: 3.5" Double cassette loading.
VARIAN 3290 STQ est un instrument de dépôt de précision utilisé pour déposer et enrober des matériaux sur des substrats. Il est conçu pour assurer une pulvérisation à haute vitesse et à basse température, permettant le dépôt de structures couche par couche avec des matériaux différents sur une même plaquette. Par son contrôle Versareg™ fait breveter des paramètres de pression et de pouvoir, le système fournit l'exactitude ultime et la précision dans la déposition. La chambre en acier inoxydable à l'intérieur de l'unité est conçue pour accueillir plusieurs substrats sur un porte-échantillon plat. La chambre dispose également d'une option de gaz de remblayage inerte et est équipée d'un générateur RF haute puissance avancé de 13,56 MHz pour la pulvérisation. Il est également équipé de composants permettant un chargement et un déchargement rapides des échantillons. VARIAN 3290STQ a également des capacités de pulvérisation à haute et basse température. Le mode de pulvérisation à haut débit peut atteindre une énergie cinétique pouvant atteindre 34 eV, permettant le dépôt de matériaux à haut débit. Ceci permet également le dépôt couche par couche de matériaux de caractéristiques différentes. Le mode de pulvérisation à basse température permet de réduire la production de contaminants et de pulvérisation à faible masse. Ce mode permet des paramètres de pulvérisation typiquement associés à un taux de performance plus élevé tels qu'un angle cible plus élevé et une auto-pulvérisation. La machine à pulvériser 3290 STQ est construite avec une technologie sophistiquée de rétroaction de pression et de contrôle de cuve. Cette technologie assure une répétabilité et un contrôle fiable de la pression et du vide lors des opérations de pulvérisation. L'outil équipé de PFC permet également aux utilisateurs de profiter du fonctionnement à pression variable, et il permet aux utilisateurs de maximiser le rapport Ion/Neutre grâce aux impulsions et au contrôle de pression variable. 3290STQ dispose en outre de systèmes avancés de surveillance et de contrôle des processus. Ces systèmes permettent aux utilisateurs de coordonner et de gérer toutes les opérations de pulvérisation via ses capacités de surveillance des processus. Les outils de surveillance du processus comprennent des systèmes de contrôle de la température, des détecteurs d'implants d'ionisation, des systèmes d'enregistrement et d'analyse des données et d'autres outils de contrôle des actifs qui permettent aux utilisateurs de surveiller le processus de dépôt. En outre, grâce à son logiciel de modèle avancé à jour, il est en mesure d'atteindre une précision standard or. En résumé, la performance de l'équipement VARIAN 3290 STQ assure une précision et une précision maximales dans les opérations de chargement, de dépôt, de déchargement et de contrôle/surveillance des processus. Cela fait de VARIAN 3290STQ un système idéal pour les opérations de pulvérisation avancée et pour le dépôt et le revêtement des matériaux sur les substrats.
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