Occasion VARIAN 3290 STQ #9255762 à vendre en France

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ID: 9255762
Sputtering system.
VARIAN 3290 STQ est un équipement de pulvérisation perfectionné utilisé pour diverses applications de couches minces dans l'industrie des semi-conducteurs. C'est un outil de co-pulvérisation à haut débit qui est capable de déposer des couches minces de haute qualité et homogènes à des cadences élevées. Le système permet plusieurs configurations de cibles en tandem avec de multiples processus de pulvérisation contrôlée avec précision. L'unité à cibles multiples assure à la fois l'épaisseur du film et l'uniformité entre les différents substrats. L'uniformité des films déposés est obtenue en contrôlant les différents paramètres de dépôt tels que la pression de procédé, la vitesse de dépôt, la polarisation cible, les températures de source et de substrat, les distances cible à substrat, et d'autres paramètres. La performance supérieure de VARIAN 3290STQ est due à ses capacités de chauffage de substrat à haut rendement. Ceci facilite une grande homogénéité de l'épaisseur et de la composition du film sur toute géométrie de substrat. La machine robuste offre également des distances réglables de ligne de visée et de cible à substrat, ainsi que plusieurs modes de processus tels que le PVD, le magnétron et la pulvérisation par faisceau électronique. 3290 STQ est conçu pour la facilité d'utilisation et est livré avec une interface utilisateur intuitive. Les caractéristiques de conception comprennent le contrôle automatisé de la pression et de la température, l'édition de recettes en temps réel, la validation de sources multipoint et la lecture en direct de la pression. De plus, l'outil comprend un menu d'autodiagnostic qui permet aux opérateurs de résoudre facilement tous les problèmes d'actifs. 3290STQ comprend également une gamme de dispositifs de sécurité pour assurer la sécurité de l'utilisateur. Ces caractéristiques comprennent un accès de sécurité avancé, une vanne d'arrêt de gaz, une double vanne de contrôle et l'arrêt automatique de la porte. Dans l'ensemble, VARIAN 3290 STQ est un système de pulvérisation haute performance qui peut déposer des couches minces de haute qualité et uniformes à des taux de dépôt élevés. Son infrastructure de détection et de sécurité contrôlée par précision le rend adapté à une large gamme d'applications de couches minces.
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