Occasion VARIAN 3290 STQ #9262677 à vendre en France
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Vendu
ID: 9262677
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2001
Sputtering system, 6"
Quantum target
2001 vintage.
VARIAN 3290 STQ est un équipement de dépôt de pulvérisateurs capable d'enrober une grande variété de matériaux sur un substrat. Il est capable de produire un large éventail de types de films comprenant des conducteurs, des matériaux de résistance, des isolants, des diélectriques, des oxydes, des nitrures et des alliages. Il offre la possibilité d'interagir avec des sources de pulvérisation spécialisées telles que les ions argon et les pistolets à courant continu pulsés, ouvrant la possibilité de pulvérisation magnétron. VARIAN 3290STQ est principalement un système de pulvérisation qui offre une variété de technologies de processus dans une plate-forme unique. Il offre la capacité de pulvérisation classique en courant continu (DC), de pulvérisation réactive en mélange d'oxygène fixe et alternatif, jusqu'à des configurations à quatre sources, et de pulvérisation réactive amortissable. En utilisant ces différentes techniques, il permet des taux de dépôt élevés à des températures plus basses et avec une meilleure homogénéité. De plus, 3290 STQ offre une flexibilité pour personnaliser le dépôt de matériaux, tels que ceux nécessitant une structure cristalline particulière. Cette unité présente une propreté et une faible contamination par contact pour permettre à la couche de dépôt d'être d'une plus grande pureté et de produire une finition plus lisse et de meilleure qualité. Cela peut être accompli avec ses mécanismes automatisés de serrure de charge 300mm et de transfert de plaquettes ainsi que ses purges automatisées de chambre qui réduisent la contamination induite par le processus. 3290STQ machine fournit également une précision exceptionnelle pour le contrôle de position du substrat avec l'outil breveté de collimation de masque de son fabricant. Cela aide à fournir une épaisseur de film répétable et l'uniformité qui est exacte dans un millième de pouce. L'optique de l'actif est pointue avec des filtres interférentiels pour isoler la longueur d'onde transmise, et sa conception contribue à réduire ou éliminer les défauts. Il offre une fiabilité et une répétabilité accrues en raison de l'absence de contamination croisée traditionnelle des éléments. En conclusion, VARIAN 3290 STQ est un modèle de dépôt de pulvérisateurs très avancé qui peut enrober avec précision et constance une grande variété de matériaux sur des substrats. Il est capable de produire un large éventail de types de films avec une précision inégalée, et ses technologies de pointe lui permettent d'offrir une finition lisse, une excellente uniformité et précision. En tirant parti de ses capacités de contrôle des processus, cet équipement peut contribuer à augmenter la productivité et à réduire les coûts.
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