Occasion VARIAN 3290 #9157043 à vendre en France
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Vendu
ID: 9157043
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering system, 6"
P/N: 983-4353
TiW, AlCu, Hard etch
CTI-Cryogenics On-Board (8) cryopumps
V200-A & V200 turbo pump
(2) MKS 250B controllers
FLUKE 1722A Instrument controller
FLUKE 8840A Multimeter
Wide range thin film monitor
Sputtering power supply
Vacuum system controller
880RS Vacuum ionization gauge
RF Matching controller
Cassette motor control
Temp monitor
Dual CTI-Cryogenics On-Board controller
Pfeiffer DCU controller
MKS vacuum controller
Multi-range DC sputtering power supply
(2) Interlock status display
(2) Deposition source control
RFPP RF10S RF generator
(3) CPI CPW-12/480 power supply
(1) AC Power transformer/conditioner
3 Phase, 480 V, 22 A, 60 Hz.
VARIAN 3290 est un équipement de pulvérisation hautement avancé conçu pour le dépôt de couches minces. Ses performances supérieures sont attribuables à une combinaison de technologies telles que la gravure avancée, les sources d'alimentation ionique, une chambre de pulvérisation à quatre têtes, un mécanisme de manutention des plaquettes à griffes rotatives et un système entièrement automatisé de contrôle du débit massique. Il est capable d'obtenir une homogénéité répétable sur des motifs d'épaisseur de film aussi faible que 180 nanomètres. 3290 utilise une unité de gravure à double chambre. Cette machine permet une gravure stable des métaux, des diélectriques et des polymères. La chambre de pulvérisation à quatre têtes fonctionne en faisant tourner une griffe programmable dépendante du temps entre la source et le substrat. Ce champ magnétique génère de l'énergie de pulvérisation ionique pour le dépôt d'un revêtement de couche mince uniforme. Le mécanisme de manutention des plaquettes à griffes rotatives permet le contrôle automatique et le transport efficace des plaquettes entre les processus. VARIAN 3290 est livré avec un outil entièrement automatisé de contrôle de processus de flux massique. Cela comprend une interface utilisateur graphique (interface graphique) qui permet aux utilisateurs de contrôler des paramètres tels que la vitesse du processus, le débit de gaz et l'épaisseur du matériau cible. L'interface graphique fournit également une chronique de l'ensemble du processus, y compris les heures de début et de fin, et un journal détaillé de tous les événements qui se sont produits au cours du processus. L'atout de pulvérisation a une liste impressionnante de fonctionnalités qui permettra aux utilisateurs de réaliser des couches minces supérieures. Cela comprend le dépôt de diélectriques, de métaux et de polymères. La source de pulvérisation magnétron a une vitesse de dépôt élevée, et peut appliquer des revêtements avec une grande précision et uniformité. Il a également une grande capacité de chambre, capable de revêtir de grands lots de plaquettes. La commande de puissance de 3290 est très précise, et peut être réglée par incréments de 0,1 micron. Ceci permet un contrôle précis de l'épaisseur du revêtement. De plus, le modèle de gravure à double chambre permet une gravure stable et répétable de divers matériaux. Dans l'ensemble, VARIAN 3290 est un équipement de pulvérisation hautement avancé conçu pour l'uniformité standard de l'industrie des couches minces. Son ensemble de caractéristiques et de technologies en font l'un des systèmes de pulvérisation les plus avancés sur le marché.
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