Occasion VARIAN / NOVELLUS M2i #9027015 à vendre en France

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VARIAN / NOVELLUS M2i
Vendu
ID: 9027015
Sputtering systems.
VARIAN/NOVELLUS M2i est un équipement de pulvérisation utilisé pour le dépôt de matériaux et la fabrication de couches minces. Le système est conçu avec la modularité dans l'esprit et fournit la possibilité de configurer une unité de pulvérisation avec divers composants. VARIAN M2i se compose de deux composants principaux : une chambre de traitement sous vide et un ensemble cathodique à pulvérisateurs. La chambre de traitement sous vide de VARIAN/NVELLUS NOVELLUS M2i est construite en acier inoxydable avec une étanchéité étanche au gaz et au vide pour assurer le processus de pulvérisation dans un environnement propre et à vide élevé. La chambre est équipée d'un turboréacteur, d'une machine numérique de détection et de mesure de la température, d'un outil d'introduction de gaz inerte et d'un dispositif de contrôle et de surveillance contrôlé par ordinateur. L'ensemble cathodique pulvérisateur de M2i est chargé de décharger des particules de haute énergie pour déposer des couches minces de matière sur le substrat. L'ensemble cathodique de pulvérisation est constitué d'une anode, d'un porte-creuset et de modules pour contrôler et maintenir le plasma. Les composants de contrôle et de surveillance de l'ensemble comprennent une polarisation en courant continu (DC) et un module AutoEqualizer qui assure une vitesse de dépôt constante. VARIAN/NOVELLUS M2i propose également plusieurs applications supplémentaires telles que le moniteur d'énergie électronique (ESEE) et le moniteur de vitesse de dépôt (DRM). Le MEE surveille l'énergie des particules incidentes pendant le processus de pulvérisation, tandis que le DRM surveille le taux de dépôt. Ces deux caractéristiques fournissent à l'utilisateur une méthode éclairée et contrôlée pour mettre en place le processus de pulvérisation et s'assurer que les résultats souhaités sont atteints. En général, VARIAN M2i est un modèle bafouillant avancé construit pour la déposition de matériel et la fabrication de film mince. Il s'agit d'une solution économique et fiable qui fournit à l'utilisateur un moyen facile à configurer et efficace d'obtenir les résultats de processus de pulvérisation désirés. L'équipement se compose de composants robustes avec des options de contrôle et de surveillance puissantes, le tout dans un environnement à vide élevé, pour assurer des taux de dépôt précis et optimisés.
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