Occasion VARIAN / NOVELLUS M2i #9106398 à vendre en France

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ID: 9106398
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering system, 6" (1) Etch target (4) Sputtering targets A2- Etch w/ Comdel CPS1001 RF power supply A3- Cobalt w/ Varian Multi Range DC Power Supply 3-12kW A4 - Ti/TTN w/Varian Multi Range DC Power Supply 6-24kW A5 - Al w/ Varian Multi Range DC Power Supply 3-12kW A6 -Ti/TTN w/Varian Multi Range DC Power Supply 3-12kW (4) CTI Cryogenics 9600 Compressors Neslab Coolflow System IV 230V 3 phase Infincon CIS TS100 RGA units on A2-A6 and transfer Missing sputtering target assemblies ACE Version Quantum targets Degas modules 1995 vintage.
VARIAN/NOVELLUS M2i est un équipement de pulvérisation thermique haut de gamme qui offre des performances robustes pour les applications de dépôt en couches épaisses de haute production. VARIAN M2i est capable de déposer un large éventail de films, y compris des conducteurs, des diélectriques et des oxydes métalliques. Il est conçu pour une production à haut volume et son faible coût de possession en font un choix attrayant pour ceux qui cherchent à ajouter des capacités de pulvérisation à leur laboratoire ou installation de production. NOVELLUS M2i est équipé d'un système de pulvérisation magnétron de 2 pouces qui permet des approches à la fois peu profondes et profondes du processus de dépôt. Il dispose d'une unité source unique avec des sorties doubles, offrant jusqu'à 6 kW de puissance disponible pour le dépôt de film. La source est conçue pour assurer un niveau constant de dépôt, même lorsque l'environnement des dépôts change. La machine est également conçue pour des vitesses de dépôt élevées, fournissant une vitesse approximative de 16-20 nm/min. M2i est capable de réaliser des couches de film épais avec un contrôle précis de la topographie, de la couverture et de l'uniformité des films. Il est extrêmement fiable et le logiciel de l'outil est conçu pour permettre un fonctionnement et une maintenance faciles. L'actif peut être exploité en mode manuel ou automatique, offrant une grande flexibilité à l'utilisateur. De plus, VARIAN/NOVELLUS M2i est équipé d'un générateur d'urgence pour protéger les matériaux contre tout événement imprévu. VARIAN M2i est un outil inestimable pour ceux qui cherchent à produire des couches de film épais avec des résultats fiables et reproductibles. Ses performances robustes et son faible coût de possession font de NOVELLUS M2i une option incroyablement attrayante pour tout laboratoire ou installation de production.
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