Occasion EBARA Frex 150 #293660146 à vendre en France

Les équipements EBARA Frex 150 de broyage, de nappage et de polissage des plaquettes sont une solution multifonctionnelle performante pour répondre aux exigences les plus exigeantes de la technologie des semi-conducteurs et des dispositifs MEMS. Spécialement conçu pour broyer, tapisser et polir les plaquettes de silicium les plus dures, le Frex 150 offre une finition de qualité supérieure avec une large gamme de réglages allant de 400 à 2 000 tr/min et une pression de broyage maximale de 2,2x106 N/m2. EBARA Frex 150 est équipé d'une tête de meulage hydraulique intégrée, d'un mandrin Schottky de 150 mm de diamètre et d'un gros mandrin sous vide. Le système est construit avec une plaque de broyage, de nappage et de polissage du côté supérieur ainsi qu'une plaque de base inférieure pour répartir la pression de broyage et le support. Un contrôle spécial de la jauge du capteur permet d'utiliser des paramètres prédéfinis lors de la pose de la plaquette sur la plaque de rodage pour un broyage, un rodage et un polissage précis et détaillés. L'unité est également équipée d'une grande machine de purge d'air qui peut être utilisée pour enlever le matériau aéroporté des zones de broyage et de polissage pour réduire la contamination et optimiser les performances de broyage/polissage. De plus, un outil de recirculation automatisé et un outil de triple filtration permettent un filtrage facile et propre des liquides utilisés pour le broyage et le polissage. Frex 150 est livré avec un panneau de contrôle de température pour contrôler et surveiller la température des matériaux utilisés dans le processus de broyage et de polissage. Également inclus dans EBARA Frex 150 est un logiciel spécial de « suivi de profil » qui permet aux utilisateurs de prérégler et d'enregistrer leurs paramètres de broyage et de polissage. Cette caractéristique leur permet d'obtenir des profils de finition de surface reproductibles et une vitesse d'élimination du matériau constante. Le logiciel permet également une large gamme de détection de rugosité de surface et permet aux utilisateurs de voir quels changements doivent être apportés pendant le processus de broyage et de polissage. Enfin, le Frex 150 est excellent pour les applications à haute productivité grâce à sa conception structurale robuste et à ses composants soigneusement conçus qui garantissent un faible niveau de bruit, de faibles émissions de particules et d'excellents rendements de finition.