Occasion RORZE FORS-300 #9215992 à vendre en France
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Vendu
ID: 9215992
Taille de la plaquette: 8"-12"
Wafer sorter, 8"-12"
(2) RAF-01013 Loadport EFEM
Options:
Single-arm, clean robot RR716L1523-3A6-001
RA410 Wafer aligner and orienter
Alumina ceramic end effector, paddle-shaped: 2.3 mm Thick
ADVANTECH PC With UNI-WIRE DI/O interface
(2) Serial ports
Ethernet interface and RS-232 communication to EFEM PC
PATLITE SEFB-402D-RAGB Signal tower
Ionizer
Interior service lighting: 25 ft Candles per square foot (Minimum)
Wafer presence detector: SUNX EX-13EA, Throughbeam, LED sensor
(2) RORZE SEMI Loadports
Throughput: > 150 Wafers per hours & Loadport cycle time with single-arm robot
Reliability: MCBF >100,000 Cycles
MTTR: 2 Hours (With spare parts)
Mini-environment cleanliness: ISO Class 1 at 0.1 microns per ISO-14644-1
Wafer placement repeatability:
+/-0.100mm in X & Y Direction, 3 sigma, +/-0.25° notch orientation, 3 sigma
Safety devices and interlocks:
EMO Switch
Cover interlocks
Utilities:
Operating and storage ambient temperature: 20°C to 30°C (Non-condensing)
Vacuum: -67 kPa to –93 kPa at 30 lpm
System vacuum: –65kPa
Connecter: ¼" Tube
Pressurized air: 600kPa to 700kPa at 20 lpm
Interface connections:
LPU-1 COM: RS-232 Communication with left loadport
LPU-2 COM: RS-232 Communication with right loadport
HOST COM: RS-232 Communication with host
EFEM PC IO
LT TOWER: Full control of light tower
Ethernet: Robot controller and EFEM PC
VS 1: View screen VGA signal for control by host PC
VS 2
EMO Out
Keyboard
Mouse
PC VS
Vacuum
Sensor: Full control of protrusion sensor
RS-232 Control of touch screen monitor
PC Keyboard: PS/2 Keyboard connector to EFEM PC
Compressor air
Electrical power: 120V AC, ±10% at 23A (Maximum), 50/60Hz
Power connector: Amphenol 97-3102A-20-3P.
RORZE FORS-300 est un gestionnaire de plaquettes de haute précision conçu pour manipuler des plaquettes petites et grandes jusqu'à 300mm de diamètre. C'est un outil essentiel pour les industries de fabrication de semi-conducteurs et de microélectroniques car il permet aux opérateurs de manipuler des composants délicats avec une précision et une répétabilité maximales. FORS-300 est conçu pour augmenter le rendement et fournir des performances maximales avec son équipement de transport variable et rapide. Le système de transport dispose d'une unité à double entraînement et de paliers linéaires de précision qui fournissent un mouvement lisse et précis pour réduire les erreurs et améliorer le débit. Il dispose d'une machine optique intégrée qui assure le positionnement précis du composant de poignée avec une répétabilité allant jusqu'à +/- 0,03 mm. L'outil de contrôle fournit une surveillance et un feedback en temps réel, ainsi que des fonctions d'alarme pour alerter l'opérateur en cas de problème. RORZE FORS-300 est conçu pour la flexibilité et la facilité d'utilisation avec sa taille compacte et son poids léger. Ses caractéristiques d'évolutivité et d'évolutivité le rendent idéal pour augmenter la capacité de production. L'atout est convivial, avec une interface utilisateur intuitive et un contrôle de mouvement à grande vitesse. Il dispose également de fonctionnalités programmables et de paramètres personnalisables pour un fonctionnement optimisé. Il est livré avec une variété d'options périphériques telles qu'un modèle de vision, un bras robotique, et un équipement laser, permettant de l'intégrer dans de plus grandes lignes automatisées. FORS-300 comprend un système d'alimentation fiable et efficace qui fournit un contrôle stable de la tension et de la fréquence, réduisant la consommation d'énergie et les niveaux de bruit. Il est également livré avec des systèmes optionnels de surveillance de la force et du couple qui permettent de mesurer avec précision les forces physiques appliquées au composant pendant la manutention. Enfin, RORZE FORS-300 est soutenu par une équipe de garantie et de support technique dédiée à assurer les meilleures performances pour les utilisateurs. Ce support est disponible pour l'installation, le fonctionnement, le dépannage, la maintenance et d'autres exigences.
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