Occasion CANON FPA 3000 EX4 #293586146 à vendre en France

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Fabricant
CANON
Modèle
FPA 3000 EX4
ID: 293586146
Style Vintage: 1998
Stepper CYMER ELS 5300 Laser system CGWS-01 O-Zone generator No lens data 1998 vintage.
CANON FPA 3000 EX4 est un pas de tranche de haute précision conçu pour la production de puces semi-conductrices. Il est capable de manipuler des plaquettes jusqu'à 300mm de diamètre et est équipé d'un équipement optique à huit voies, à deux étages pour une précision de haute précision et d'alignement. Ce stepper peut également gérer des plans d'exposition simples et multiples, avec la capacité de personnaliser les paramètres d'exposition pour les plaquettes traitées. CANON FPA-3000EX4 est conçu avec un nouveau système de déplacement de tir à commande vectorielle et un objectif de formation d'image fine. Cela garantit un niveau de focalisation constant et une qualité d'image cohérente sur l'ensemble de la plaquette. Son unité intégrée d'isolation des vibrations élimine les vibrations lors de l'exposition, minimisant le temps d'amortissement de l'instabilité de température résultant de la dérive thermique. Il est également équipé d'un contrôleur d'entrée/sortie à grande vitesse, qui permet de traiter rapidement de grands volumes de données pendant le processus d'exposition. Pour haut refléter la capacité, FPA-3000 EX4 est correspondu avec EX4 nouvellement développé Reflétant la Machine de Contrôle. Cela offre un affichage d'image très précis et fiable qui simplifie tout le processus d'alignement automatique. Il est également livré avec un outil d'autofocus haute précision (HPAS) récemment conçu pour trouver le niveau de focalisation optimal chaque fois que l'épaisseur de la plaquette change. FPA-3000EX4 offre un atout d'éclairage à haut rendement pour une utilisation optimale de l'énergie. Avec son réflecteur à six laser, cet amplificateur peut atteindre des intensités d'énergie allant jusqu'à 7 000 mW㎡ pour les processus photolithographiques. Son compensateur intégré Micro Scissors Tilt (MST) prévient les erreurs de pente croisée lors de l'exposition en détectant rapidement et avec précision l'inclinaison du tir. Pour plus de commodité, le FPA 3000 EX4 est équipé d'un moniteur convivial permettant aux opérateurs de visualiser l'alignement des plaquettes tout en contrôlant les paramètres d'exposition. Il dispose également d'une fonction de prévisualisation qui permet à l'utilisateur de regarder un plan de pré-exposition pour vérifier l'alignement des plaquettes traitées. Cela permet un positionnement rapide et précis de l'exposition pendant le processus de fabrication. Pour assurer un traitement stable des plaquettes, CANON FPA-3000 EX4 offre une fonction de contrôle de la propreté de l'air qui réduit la contamination par les particules et optimise son environnement propre pour maintenir une surface propre des plaquettes. Il a également un modèle d'échange d'hélium qui peut réduire les dommages aux rayons X des plaquettes. CANON FPA 3000 EX4 est un choix idéal pour les besoins de tranches de précision en raison de ses performances fiables, de ses vitesses élevées et de son alignement de précision. Ses caractéristiques complètes en font un excellent choix pour la production de puces semi-conductrices.
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