Occasion NIKON NSR 1505 G6E #9120694 à vendre en France

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NIKON NSR 1505 G6E
Vendu
Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 1505 G6E
ID: 9120694
Taille de la plaquette: 5"
Stepper, 5" Resolution: 0.65㎛ D.O.F: range ≥ 1.5 ㎛ Lens distortion: ≤±0.09 ㎛ Focus stability: ≤0.6 ㎛ Wafer flatness: ≤3 ㎛ Uniformity: ≤±2.0% Reticle rotation accuracy: ±0.02 ㎛ Overlay: |X| + 3σ ≤ 0.2㎛ EGA alignment accuracy: |X| + 3σ ≤ 0.14 ㎛ Stepping accuracy: 3σ ≤ 0.09 ㎛ Pre-alignment repeatability: 3σ ≤ 2 5㎛ Utilities: Electrical power: 200V±20 V, 3 Phase, 50 A, 50/60 Hz Air: ≥3 kg/cm2, 5 L/min, 1/4" Vacuum: ≤300 mmHg, 50 L/min, 1/4" PCW: 16°-32°C, ≥3 kg/c, 18 L/min, 1/2" Thermal exhaust: 1000L/min, 125mm Drain: 1".
NIKON NSR 1505 G6E est un pas de plaquette haut de gamme multi-champs conçu pour faciliter la fabrication avancée de circuits semi-conducteurs. Avec son haut niveau de précision et sa précision répétable, il offre d'excellentes performances pour une large gamme de types d'appareils. NIKON NSR-1505G6E utilise des modes d'exposition 4x et 5x pour le rendre adapté à tout appareil ou application. Les différentes lentilles de projection disponibles - dont deux lentilles asphériques, une lentille télécentrique et une lentille ultra-télécentrique - fournissent des résultats extrêmement précis sur une large gamme de longueurs focales. Le dispositif comporte également un mode de balayage des lentilles, ce qui augmente l'efficacité de l'exposition au balayage en effectuant plusieurs expositions en une seule étape. NSR 1505 G6E est conçu pour fonctionner dans un environnement de salle blanche, en utilisant un degré élevé de contrôle du vide. L'équipement de contrôle comprend une unité de détection des particules ultra-faible, qui surveille la concentration de particules dans l'air dans l'étage. Cela permet un contrôle continu pour assurer un environnement d'exploitation stable et propre. NSR-1505G6E possède plusieurs fonctionnalités optionnelles qui permettent à l'utilisateur final de personnaliser l'appareil en fonction de ses besoins spécifiques. Une de ces options est une stratégie d'exposition efficace qui utilise une combinaison de fonctions de vignettage haute résolution et d'optimisation. Cela aide à réduire le nombre d'effets optiques causés par le désalignement ou l'aberration, fournissant un niveau élevé de précision. NIKON NSR 1505 G6E peut accepter une variété de motifs géométriques à demi-pas, y compris la distance de ligne et les lignes obliques, pour supporter une gamme d'applications. D'autres fonctionnalités incluent des routines d'auto-alignement et de centrage, ainsi que des capacités de test en ligne qui fournissent des tests rapides pour valider les résultats du processus de wafer. NIKON NSR-1505G6E inclut divers paquets d'automatisation optionnels qui augmentent la précision et la productivité du système. Il s'agit notamment d'un étage multi-pistes puissant, qui permet à l'étape de se déplacer plus rapidement et plus précisément, et d'une unité d'alignement de vision qui mesure et compare les plaquettes entrantes avec les images de référence stockées. Le stepper peut également être intégré aux installations de production existantes, afin de rationaliser le flux de travail, de réduire les temps d'arrêt et d'optimiser l'efficacité opérationnelle. Dans l'ensemble, NSR 1505 G6E est un pas puissant et précis qui fournit d'excellents résultats pour le traitement des plaquettes. Son optique multi-champs et sa machine de contrôle sous vide en font un bon choix pour la fabrication de plaquettes haut de gamme. Les différents paquets d'automatisation et autres options utilisateur en font souvent le choix pour la production avancée de semi-conducteurs.
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