Occasion NIKON NSR 1505 i7A #9409898 à vendre en France
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ID: 9409898
Style Vintage: 2010
Stepper
Lens data
Field size: 15 x 15 mm
Lamp uniformity: < 2%
Flash power: 300 Mw
Exposure stability: ≤ 1.4%
Water flatness: ≤ 25µm
LSA Focus: < 1.5 µm
Tele focus: < 0.02 µm
Reticle blinds: 0.4 - 0.8 µm
Stepping: Sigma < 0.03 µm
Orthagonality: < 0.2 sec
Reticle rotation: RRep ≤ 0.02 µm
Wafer loader repeatability: Sigma ≤ 5 µm
Overlay: 3 σ
with average ≤ 0.13 µm
Focus repeatability: 3-1 ≤ 0.15 µm
Lens tilt:
UR - LL ≤ 0.45 µm
UL - LR ≤ 0.45 µm
2010 vintage.
NIKON NSR 1505 i7A Wafer Stepper est un équipement de lithographie compact de haute précision conçu pour la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs. Il utilise une technologie de balayage/pas à 7 nanomètres avec une tête de balayage/pas très fiable et dispose d'un grand champ de travail de 420mm x 500mm. La capacité de cette machine à couvrir un grand champ de travail sans réduire la résolution lui confère un avantage unique dans les applications modernes de nanotechnologie. L'architecture optique de NIKON NSR-1505I7A Wafer Stepper repose sur un design simple et efficace. Le système est construit avec une lentille optique ultra haute résolution et une optique de projection NA basse. Cette combinaison conduit à un champ image de 420mm x 500mm et une résolution la plus élevée de 7nm, contrôlant précisément le déplacement d'un objet pour atteindre une taille de pas constante. Les variations des applications de la tête statique et de la tête de balayage sont supportées, ce qui permet une flexibilité de production. NSR 1505 I7A Wafer Stepper est livré avec une performance et une précision éprouvées. Il dispose d'une technologie de commande de mouvement avancée avec un contrôle de mouvement à 6 axes et un positionnement simplifié, garantissant une précision et une précision de processus plus élevées. Cette machine est également équipée d'un ensemble de logiciels ergonomiques et conviviaux, ce qui la rend facile à utiliser. NSR 1505 i7A Wafer Stepper utilise une gamme de fonctionnalités avancées, y compris un algorithme d'auto-apprentissage, pour maximiser l'efficacité des expositions photolithographiques. L'unité est capable d'obtenir une imagerie à plus haute résolution et une polarisation des pupilles améliorée, permettant aux utilisateurs d'obtenir des images encore plus claires et une imagerie souterraine. La machine dispose également d'un alignement automatisé, permettant une intégration rapide dans les lignes de production. NSR 1505 I 7 Un Wafer Stepper est une machine très fiable et efficace, permettant aux utilisateurs d'obtenir une lithographie de haute précision sur une grande variété de substrats. Sa taille compacte permet une installation facile dans les lignes de production existantes, avec un temps d'installation minimal. Les avantages de cette machine, associés à son logiciel intuitif et convivial, en font un choix idéal pour la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs.
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