Occasion NIKON NSR 2005 i11C #9309536 à vendre en France

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Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 2005 i11C
ID: 9309536
Stepper.
NIKON NSR 2005 i11C est un équipement de pas de plaquettes conçu pour un large éventail d'applications, telles que le traitement des semi-conducteurs arrière, la fixation de filière à pas fin et le développement de couches minces. Il est conçu pour répondre aux exigences rigoureuses de la production à moyenne et grande échelle, et il intègre des technologies de pointe pour la fixation de précision, l'alignement stable et la superposition précise. Le système d'imagerie haute résolution NIKON NSR 2005 I 11 C utilise une lentille d'imagerie à fente 5 "(127 mm) brevetée NIKON et un capteur CCD numérique haute sensibilité, qui offre une grande précision d'imagerie et une gamme dynamique élevée. L'unité comprend également des optiques et des structures en aval pour assurer un contrôle précis du plan d'imagerie. La NSR 2005 i11C est équipée d'une machine de positionnement automatique à étages qui utilise la mesure de l'alignement à deux axes et l'optique interférométrique avec une structure d'essai à quatre niveaux pour un alignement et un recouvrement précis. L'étage comprend également un codeur haute résolution, fournissant un contrôle de rotation précis pour des mouvements précis, et il supporte des motifs de balayage à la fois continus et locaux. En ce qui a trait à l'enregistrement masque-wafer, la RSN 2005 I 11 C incorpore des méthodes d'enregistrement à la fois mondiales et locales, associées à l'alignement et à la mesure de la superposition. L'outil est également capable de reconnaître les imperfections de la surface du substrat, telles que la warpage et la non-uniformité, et fournit la meilleure compensation et correction en classe. NIKON NSR 2005 i11C utilise un algorithme multicouche TMCS (Total Maskless Control Asset), qui permet de structurer avec précision des structures à plusieurs niveaux très complexes. Ce modèle fournit une génération de motifs à haute vitesse, avec un taux de couverture de zone jusqu'à 10x plus rapide que les systèmes classiques pas à pas et répétition. L'équipement est également équipé de fonctions avancées de surveillance des plaquettes et de contrôle des processus pour garantir des résultats reproductibles et reproductibles. Le système d'enregistrement et de traçabilité des données par RFID permet un transfert de données sécurisé entre les sites de production et un suivi des processus dans les tablettes. Le NIKON NIKON NSR 2005 I 11 C est une puissante et polyvalente unité de grattage de plaquettes qui offre une haute précision et un excellent contrôle de superposition pour une large gamme d'applications de production. Avec son optique avancée, son algorithme multicouche, sa machine de positionnement automatisée et ses contrôles robustes, NSR 2005 i11C est une plate-forme fiable pour une production à haut volume.
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