Occasion NIKON NSR 2005 i8A #9041676 à vendre en France
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Vendu
ID: 9041676
Stepper, 6"
Basic version: MCS2
Main computer:
System: PDP11/73, VT-284
CRT Monitor
Hard disk: RZ26L-E
(1) Disk drive: 5.25"
Illumination type: Normal
Wafer stage: Ring type chuck, Ball screw type
Interferometer: HP Laser
Reticle alignment: ISS
Reticle microscope: Variable (15 mm, 17.5 mm)
Wafer alignment: LSA, FIA
Auto focus: Single
Wafer loader: Type-1, OF Type
Flatzone: Front
In-Line exist (Left)
Cassette: Left/Right
Control rack position: Right
Reticle loader: 6" Reticle, Added library, 26 slots
PPD: Available
Barcode system: Available
Chamber type: ASAHI Chamber
No missing parts
Powered down
Deinstalled
1993 vintage.
NIKON NSR 2005 i8A Wafer Stepper est un équipement avancé de lithographie haute résolution utilisé pour imprimer des caractéristiques extrêmement petites et complexes sur des plaquettes semi-conductrices. Le système fonctionne avec une lentille de projection haute ouverture numérique (NA) et haute résolution pour transférer avec précision une image microscopique sur une plaquette recouverte de photorésist. Il est capable d'imprimer des caractéristiques aussi petites que 1.2µm avec une image crisp, haute définition. NIKON NSR 2005I8A dispose d'une installation d'unité d'imagerie sophistiquée composée d'un illuminateur, d'une lentille d'exposition, d'un étage et d'un capteur. L'illuminateur produit une lumière puissante qui est ensuite contrôlée et condensée par la lentille d'exposition. L'image résultante est projetée sur la plaquette, qui est maintenue sur scène, grâce à un mandrin à vide avec un positionnement de haute précision et un mouvement mécanique contrôlé. Cet étage est également capable de faire tourner, basculer et déplacer la plaquette pour une plus grande précision d'exposition. Le capteur est intégré à la machine et est utilisé pour surveiller et optimiser la dose d'exposition de la plaquette. Son algorithme sophistiqué fonctionne en temps réel et ajuste la condition d'exposition pour garantir les meilleurs résultats possibles. Il est également capable de détecter tout problème d'exposition qui pourrait affecter négativement les performances de la lithographie. NSR-2005I8A dispose également d'une suite d'options logicielles pour aider à automatiser le contrôle des paramètres d'exposition et le traitement numérique des images. L'outil a été conçu pour être robuste et fiable, lui permettant de travailler de manière optimisée avec des performances répétables. Ceci est réalisé grâce à un outil de traitement de signal numérique avancé (DSP) et une caméra CCD haute résolution qui est utilisé pour capturer et stocker les données de motif. Enfin, NSR 2005I8A est également équipé d'un modèle de nettoyage qui utilise la technologie de fraisage ionique pour s'assurer que l'équipement optique est propre et exempt de contaminants qui pourraient autrement nuire à la précision et à la stabilité du processus d'exposition. En conclusion, NIKON NSR 2005 I 8 A est un système avancé et très précis de pas de plaquettes avec une gamme de fonctionnalités qui aident à fournir des résultats lithographiques de haute précision. Ses systèmes sophistiqués d'imagerie et d'exposition garantissent que la plaquette est exposée aux conditions exactes pour produire le motif désiré. L'utilisation de logiciels et de matériel de pointe aide également à automatiser, optimiser et surveiller le processus d'exposition, lui permettant de travailler à son efficacité maximale. La conception globale de NSR-2005 I8A lui permet de produire des images haute résolution et haute définition, même à des niveaux de sous-microns, avec des performances toujours élevées.
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