Occasion NIKON NSR 2005 i8A #9041776 à vendre en France
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Vendu
ID: 9041776
Stepper, 6"
Basic version: MCS2
Main computer:
System: PDP11/73, VT-284
CRT Monitor
Hard disk: RZ26L-E
(1) Disk drive: 5.25"
Illumination type: Normal
Wafer stage: Ring type chuck, Ball screw type
Interferometer: HP Laser
Reticle alignment: ISS
Reticle microscope: Variable (15 mm, 17.5 mm)
Wafer alignment: LSA, FIA
Auto focus: Single
Wafer loader: Type-1, OF Type
Flatzone: Front
In-Line exist (Right)
Cassette: Left/Right
Control rack position: Left
Reticle loader: 6" Reticle, Added library, 26 slots
PPD: Available
Barcode system: Available
Chamber type: ASAHI Chamber
No missing parts
Powered down
Deinstalled
1994 vintage.
NIKON NSR 2005 i8A est un pas de haute performance, adapté aux applications de photolithographie pour la production de microélectroniques et de dispositifs d'affichage. Ce pas peut être utilisé pour diverses applications, telles que le traitement multicouche, l'alignement des masques, l'imagerie, et plus encore. NIKON NSR 2005I8A offre une variété de fonctionnalités pour aider à améliorer la performance et la productivité des processus de photolithographie. Il fonctionne à une vitesse maximale de quatre cent quatre-vingt-deux (482) plaquettes par heure, et fournit une grande précision avec une résolution inférieure à 0,33 micron et une précision de recouvrement de quatre pour cent (4 %). L'étape utilise un équipement d'alignement bi-focale avec deux objectifs d'alignement de précision et un système de précession de données d'image propriétaire pour améliorer les taux de précision. NSR-2005I8A dispose d'une unité optique avec une ouverture numérique maximale de 0,55 et un diamètre de champ de quatre cent cinquante-six (456) millimètres, ce qui permet une large gamme de hauteurs d'exposition et d'architectures de traitement. Cette machine offre également une conception catoptrique optique avec une ouverture numérique efficace de 0,63 pour un pré-alignement laser pur des masques. Le stepper comprend un bras micrométrique qui permet un montage et une inspection rapides et efficaces des plaquettes. Il est équipé d'un mécanisme de scanner actif qui assure un balayage lisse et rapide des échantillons, qui peut traiter une taille maximale de l'échantillon jusqu'à 6,3 "de diamètre. Le stepper est également livré avec une routine intégrée de cartographie de la propreté, permettant aux utilisateurs d'inspecter leurs échantillons pour toute contamination. En outre, NSR 2005 i8A a des fonctions sophistiquées comme le mode d'écriture en une seule étape et un outil breveté d'alignement automatique de masque à masque. NIKON NSR-2005 I8A est compatible avec une variété de produits chimiques et résiste, offrant aux utilisateurs un large éventail de choix. Il est alimenté par un logiciel haut de gamme qui offre une interface graphique facile à utiliser. En outre, ce modèle offre plusieurs options pour la création de recettes, qui permettent aux utilisateurs de créer des recettes de photolithographie optimisées pour leur application respective. Globalement, NIKON NSR 2005 I 8 A est un pas très efficace et fiable pour les applications de photolithographie. Il offre un large éventail de caractéristiques et un haut degré de précision et d'efficacité, ce qui en fait un choix idéal pour une variété de processus de photolithographie.
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