Occasion NIKON NSR 2005 i9C #293605792 à vendre en France
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ID: 293605792
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
Stepper, 8"
Notch wafer type
Wafer loader type I
Wafer exposure
Wafer transfer
Left and right carriers loading
High and low pressure: 8 kgf/cm²
Reticle loader:
Mask size, 6"
Reticle library: 33 mm
Reticle stage:
RA Microscope
Position: 22 mm
FIA
LSA
Monitor
Interferometer type: 5517 B
1995 vintage.
NIKON NSR 2005 i9C est un pas de plaquette utilisé en photolithographie, le procédé de transfert d'un motif d'un masque sur un substrat afin de fabriquer des circuits intégrés. Cet équipement comprend tous les composants nécessaires à la lithographie et se caractérise par sa grande précision, sa polyvalence et sa rapidité. Le i9C utilise une optique pas à pas avancée, des aberrations déflectives et astigmatiques minimisées et des motifs supérieurs. Le système est conçu avec une fonction Variable Beam Spot Size (VBSS), qui permet une gamme de tailles de beamspot de 0,6 à 5 µm de diamètre, offrant aux utilisateurs la flexibilité d'utiliser les meilleurs paramètres pour chaque motif. Avec sa technologie de balayage brevetée, NIKON NSR2005I9C est équipé de systèmes de remplacement de cassettes (CCS) uniques et polyvalents. Le CCS est entièrement automatisé et se compose d'un porte-cassette à neuf baies et de deux porte-lames avec capacité de transfert automatique des lames. Cette unité permet aux utilisateurs de changer et d'ajuster rapidement pour différents types de pièces. Les motifs exposés produits avec le i9C ont une faible distorsion restante et une faible jaggedness. La machine utilise NIKON proprietary Automatic Distortion Correction (ADC) pour détecter et corriger les distorsions à chaque exposition, réduisant les erreurs et améliorant au maximum la qualité des motifs. En outre, le i9C fournit des résultats très précis et reproductibles, permettant aux utilisateurs de fabriquer en masse des composants en toute confiance. L'outil utilise un outil de surveillance de l'alignement de précision, qui surveille en permanence la position et l'inclinaison de l'étape tout au long du processus de mouvement. Cela garantit une excellente position des pièces et des prises de vue stables. NSR-2005I9C wafer stepper dispose d'un large éventail de caractéristiques qui en font un choix idéal pour produire des modèles de haut rendement et de haute qualité pour la fabrication de circuits intégrés. Avec son optique avancée, CCS et ADC, il permet aux utilisateurs de transférer facilement une gamme variée de motifs avec la plus grande précision et répétabilité et une distorsion minimale.
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