Occasion NIKON NSR 2005 i9C #9242188 à vendre en France

NIKON NSR 2005 i9C est un marchepied de wafer de haute précision conçu pour améliorer le rendement et réduire les coûts de fabrication des dispositifs semi-conducteurs. Cette machine est le modèle qui succède au NSR-2005i8C et offre des performances et une efficacité améliorées grâce à des composants optiques et de traitement améliorés. NIKON NSR2005I9C est conçu pour fonctionner avec un pas de lentille enduit de 1:00 gamma, ce qui réduit l'apparition d'éruptions et de fantômes, par rapport à d'autres lentilles non 1:00. Pour cette raison, le stepper est en mesure de produire des motifs à un pas élevé avec la qualité d'imagerie ultrasharp. La machine dispose d'un équipement amélioré d'alignement des plaquettes (WASL) qui permet un haut débit et assure un alignement précis, pour augmenter la reproductibilité du processus et réduire la panne de lot. Le système WASL mesure les erreurs d'alignement sur la périphérie de la plaquette, ce qui permet de réduire le décalage de focalisation sur tout le champ. Le i9C a également une capacité de résolution variable qui lui permet de reproduire des tailles de motifs précises, avec la possibilité de basculer entre 4X (résolution de 1 micron) et 10X (résolution de 0,25 micron) résolution au niveau de la plaquette. Cela garantit que la géométrie des motifs est maintenue correctement et augmente la taille des plaquettes. NSR-2005I9C dispose d'une unité de focalisation dynamique intégrée, qui compense le décalage de focalisation sur de longues étapes de champ et de grossissement élevé, ainsi que les dépassements de focalisation, afin d'assurer une précision élevée et une capacité de configuration de pas élevé. Le focus dynamique réduit également l'effet thermique et micro-étuve, puisque la position du focus est activement surveillée et ajustée à chaque étape globale. Le i9C offre également une machine d'éclairage améliorée qui délivre typiquement des motifs de 2 µm de longueur de ligne avec une résistance classique à la gravure sèche, et une compression puissante et flexible de 1X Binarized Pixel Distribution (BPD). L'outil d'éclairage amélioré présente également une réduction de l'effet de champ proche qui offre un meilleur contraste de motifs. NIKON NSR 2005I9C a également une stabilité mécanique et environnementale qui contribue à réduire les défaillances, les défauts et les pertes de rendement inattendus dans la production. Les suites logicielles de contrôle et d'analyse des processus sur la machine assurent une utilisation optimale des capacités de l'i9C, tout en fournissant des informations en temps réel aux opérateurs. Dans l'ensemble, NIKON NSR-2005I9C est un pas de tranche de précision conçu avec une optique d'imagerie avancée et un contrôle de processus sophistiqué qui offre des rendements améliorés et un meilleur rapport coût-efficacité dans la fabrication de semi-conducteurs.