Occasion NIKON NSR 2205 EX12B #9207018 à vendre en France
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ID: 9207018
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Stepper, 8"
Temperature range: 23°C
Chamber type: N2M-A
NA Variable system
Reticle size: 6" (Normal)
Reticle microscope: Fix
Maximum field size: 22 mm
PPD
Reticle barcode reader
No reticle SMIF
No R-library
Reticle case: 6"
Wafer type: Notch
Pre alignment 2
Wafer loader: Type 3
Chip leveling
In-line (Right)
Wafer carrier table: Left, Right
Alignment sensor: LSA, FIA
Rack type: Normal (Left)
Body OP ruck cable: 3 m (Normal)
No wafer edge exposure
Laser type: CYMER ELS-5400 Laser
Laser position: Same flor
No signal tower
1997 vintage.
NIKON NSR 2205 EX12B est un pas de plaquette plein champ de haute précision conçu pour exiger des applications de photolithographie. Il est conçu pour fournir des performances d'imagerie supérieures et pour aider à réduire le nombre d'étapes de processus de photolithographie nécessaires pour transférer une conception de circuit dans une plaquette. NIKON NSR-2205EX12B utilise un objectif 63X high-NA et dispose d'une capacité de rotation image-champ, lui permettant de travailler avec différents types de motifs. Il fonctionne en mode pas à pas et balayage, ce qui permet une plus grande flexibilité dans la conception de la mise en page et la capacité de couvrir de plus grandes surfaces avec une plus grande résolution. Équipé d'un obturateur à longue durée de vie et d'un équipement de diodes laser de pointe haut de gamme, NSR-2205 EX12B offre une répétabilité et une fiabilité élevées. La précision des transferts de motifs est également améliorée, permettant la réalisation de dispositifs de meilleure qualité. NSR 2205EX 12B a un débit élevé, et peut atteindre des vitesses allant jusqu'à 400WSPM. Il est très flexible, pouvant accueillir une grande variété de substrats, dont le silicium, le quartz, le verre, le métal et les polymères, ainsi que diverses conceptions de circuits. Le stepper est conçu pour être compatible avec tous les systèmes NIKON. Le NIKON NSR-2205 EX 12 B est équipé de nombreuses caractéristiques, dont une fonction d'auto-focus et d'auto-alignement, une fonction d'attache, une lithographie intégrée et un système d'inspection de résistance, la capacité de zoomer numériquement, un foyer sur place et un dispositif de chauffage multi-axes. La machine d'éclairage i-Line de NIKON NSR-2205 EX12B offre un éclairage à large champ qui aide à réduire les défauts induits par la lumière. Le stepper dispose également d'un tube dédié avec une fenêtre en quartz et un étage de transfert de valeur qui évitent la contamination. Pour assurer un travail précis, NSR 2205 EX12B est conçu avec un outil optique de projection de haute précision. Il utilise un étage X-Y à grande vitesse, avec une linéarité de 0,1 micron et une répétabilité remarquable de 0,5 micron. NSR-2205 EX 12 B est un pas de plaquette fiable et puissant qui offre une combinaison d'efficacité, de précision, de flexibilité et de performance. Il est adapté aux applications avancées de photolithographie, et peut être utilisé pour créer des composants et des produits très précis.
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